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奧林巴斯OLYMPUS MX63L顯微鏡在FAB廠中的應用

閱讀:838        發布時間:2019-1-9

奧林巴斯OLYMPUS MX63L顯微鏡在FAB廠中的應用

半導體這個大家在熟悉不過的一個名字,它的應用在我們生活中的各個方面,小到手表手機,大到汽車飛機宇航船等!隨著檢測工藝要求的提高,對半導體精度和體積都有了非常高的要求,其中晶圓片(IC)生產工藝已經達到納米的級別,那么對晶圓檢測都使用什么來進行檢測呢?

首先晶圓有4寸,6寸,8寸,12寸,現階段主流的是8寸晶圓,在對其進行檢測使用的是光學顯微鏡,其放大倍數到1000倍,主要是觀察表面是否有劃痕劃傷等表面檢測,OLYMPUS MX63L搭載12寸平臺,也就是說這個顯微鏡可以檢測所有尺寸的的晶圓片。

FAB廠中因為生產量大,而且還要對每一個晶圓片進行檢測,所以OLYMPUS MX63L還可以和晶圓半送機配套使用,這樣就減少了人用手來接觸而造成污染。

生產工藝要求越來越高,所有配備的OLYMPUS MX63L顯微鏡可以在生產中得到率,提升晶圓的良率!

 

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