奧林巴斯半導體檢測顯微鏡MX61L/ MX61使用說明
奧林巴斯半導體檢測顯微鏡MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半導體檢查顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法(DIC)、熒光法、紅外線法和深紫外線法,的光學系統保證了的圖像分辨率和鮮明度。向您推薦的好的半導體檢測顯微鏡。
前面板在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌(AS)的開閉調節,與物鏡的切換和觀察模式連動,用一個按鈕就可以操作。此外,用一個手指就可以調光的旋鈕也配置在前面板上,從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌(AS)的按鈕分別斜向配置,手不離開對焦手柄,只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設計提高了手指尖的感知度,能夠防止錯誤操作。
[1] 照明強度旋鈕 [2] 物鏡倍率切換 [3] 孔徑光闌調節
觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒,為了適應視點而調整座椅的高度,或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間,降低工作速度。但是,配備傾斜角度為0°~42°(可變高度為150 mm,SEMI S8對應)的傾斜鏡筒,可采取與檢查者體格無關的舒適觀察姿勢,甚至可以站立檢查。此外,這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離,可以在較大的平臺上輕松操作。
高靈敏度載物臺可以迅速決定位置,對應300 mm晶圓/17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍(Y方向284 mm)。另外,內置離合器的載物臺手柄,可切換粗調和微調。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺,快速完成檢查。
物鏡是觀察樣品的照明和觀察的重要部件,奧林巴斯有應對多種多樣的觀察方法、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產品陣容可供選擇。
MPLAPON | 平場復消色差透鏡 |
MPLFLN | 平場半復消色差透鏡 |
MPLFLN-BD | 明暗視場用平場半復消色差透鏡 |
MPLFLN-BDP | 反射偏振光用平場半復消色差透鏡 |
LMPLFLN | 長工作距離平場半復消色差透鏡 |
LMPLFLN-BD | 明暗視場用長工作距離平場半復消色差透鏡 |
MPLN | 平場消色差透鏡 |
MPLN-BD | 明暗視場用平場消色差透鏡 |
SLMPLN | 超長工作距離平場消色差透鏡 |
LCPLFLN-LCD | 液晶長工作距離平場半復消色差透鏡 |