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奧林巴斯半導體檢測顯微鏡MX61L/ MX61使用說明

閱讀:2851        發布時間:2018-7-16

奧林巴斯半導體檢測顯微鏡MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半導體檢查顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法(DIC)、熒光法、紅外線法和深紫外線法,的光學系統保證了的圖像分辨率和鮮明度。向您推薦的好的半導體檢測顯微鏡。

    前面板在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌(AS)的開閉調節,與物鏡的切換和觀察模式連動,用一個按鈕就可以操作。此外,用一個手指就可以調光的旋鈕也配置在前面板上,從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌(AS)的按鈕分別斜向配置,手不離開對焦手柄,只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設計提高了手指尖的感知度,能夠防止錯誤操作。

                     

                           [1] 照明強度旋鈕   [2] 物鏡倍率切換    [3] 孔徑光闌調節

 

                 

     觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒,為了適應視點而調整座椅的高度,或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間,降低工作速度。但是,配備傾斜角度為0°~42°(可變高度為150 mm,SEMI S8對應)的傾斜鏡筒,可采取與檢查者體格無關的舒適觀察姿勢,甚至可以站立檢查。此外,這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離,可以在較大的平臺上輕松操作。

                  

      高靈敏度載物臺可以迅速決定位置,對應300 mm晶圓/17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍(Y方向284 mm)。另外,內置離合器的載物臺手柄,可切換粗調和微調。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺,快速完成檢查。

      物鏡是觀察樣品的照明和觀察的重要部件,奧林巴斯有應對多種多樣的觀察方法、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產品陣容可供選擇。

MPLAPON

平場復消色差透鏡

MPLFLN

平場半復消色差透鏡

MPLFLN-BD

明暗視場用平場半復消色差透鏡

MPLFLN-BDP

反射偏振光用平場半復消色差透鏡

LMPLFLN

長工作距離平場半復消色差透鏡

LMPLFLN-BD

明暗視場用長工作距離平場半復消色差透鏡

MPLN

平場消色差透鏡

MPLN-BD

明暗視場用平場消色差透鏡

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超長工作距離平場消色差透鏡

LCPLFLN-LCD

液晶長工作距離平場半復消色差透鏡

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