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RENNISHAW雷尼紹光柵

2019-2-25  閱讀(2488)

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RENNISHAW雷尼紹光柵

 

附件REE/REF:

REE系列細分盒為更低等級的信號細分提供簡單的“即插即用”解決方案。REE系列細分盒使數字正交輸出信號的分辨率提高了至少20倍。REE的三個模式,設計初衷是用于雷尼紹的鋼帶光柵系列,目前經過驗證也可用于RLE。

 

提供十進制和二進制細分選項

REE和REF是具有創新意義的細分盒,可提供多種創新功能和x4096的一系列細分系數。讀數頭的光學濾波系統與接口的自動增益、偏置與平衡控制相結合,可在任意速度下,將周期誤差(電子細分誤差 - SDE)控制在±50 nm以下。也可提供模擬輸出接口,它使用這種出眾的信號控制,通過適當質量的模擬輸入來輸出高精度的1 Vpp信號。

高速

REE和REF都能產生行業標準的RS422A高速數字方波(在0.1 μm分辨率時為2.8 m/s),并提供多種更高的用戶可選的時鐘頻率(25、30、50 MHz),以確保與新一代高速主控制器兼容。REE細分1 Vpp光柵輸出,而REF細分來自超小型RGH25F和RGH20F讀數頭的*信號。

安裝簡單

REE與REF都具有快速、可靠的校準步驟,可保證的安裝,還具有監控信號強度的三色LED安裝指示燈。為幫助實現安裝,在信號強度到達100% ±10%時LED指示燈亮藍色。還有一個設定行,其電壓與信號幅值成正比,用于遠程監控和診斷。

REF接口特性:
自調節主動修正
REF接口主動修正輸入信號的瑕疵,從而提高系統精度。主要進行以下修正:
自動偏置控制 (AOC) - 分別調整正弦和余弦信號的偏移量
自動增益控制 (AGC) - 確保信號幅值一致,即1 Vpp
自動平衡控制 (ABC) - 調整增益量,保持正弦和余弦信號相等
這些修正機制在讀數頭整個工作速度范圍內進行修正。
用戶可通過按下校準按鈕3秒以上禁用/啟用AGC。

平面鏡系統性能 

REE模式REE訂貨號分辨率 (nm)高速度 (mm/s)
REE100REE0100A20B1.58217.7
REE200REE0200A20B0.7918.8
REE400REE0400A20B0.3954.4

角錐反射鏡系統性能 

REE模式REE訂貨號分辨率 (nm)高速度 (mm/s)
REE100REE0100A20B3.16435.4
REE200REE0200A20B1.58217.7
REE400REE0400A20B0.7918.8

Using 20 µm scale
REE0004 - 5 µm resolution
REE0020 - 1 µm resolution
REE0040 - 0.5 µm resolution
REE0100 - 0.2 µm resolution
REE0200 - 0.1 µm resolution
REE0400 - 50 nm resolution
REE1000 - 20 nm resolution
REE2000 - 10 nm resolution
REE4000 - 5 nm resolution
Using 40 µm scale
REE0004 - 10 µm resolution
REE0020 - 2 µm resolution
REE0040 - 1 µm resolution
REE0100 - 0.4 µm resolution
REE0200 - 0.2 µm resolution
REE0400 - 0.1 µm resolution
REE1000 - 40 nm resolution
REE2000 - 20 nm resolution
REE4000 - 10 nm resolution

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