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高通量計量和檢測的污染控制智慧之道

閱讀:312      發布時間:2024-4-10
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在半導體、平板顯示器 (FPD) 和有機發光二極管 (OLED) 制造業中,設計支持高通量檢測(即,每次所需時間可處理的檢測數量)的計量儀器是我們面臨的一項共同挑戰。
作為 OEM 光學器件和組件的供應商,Evident為儀器設計師提供高質量的顯微鏡裝置,而這些儀器設計師會為檢測、生產和研究領域開發光學設備。對于制造業中的質量檢測,由于這些裝置設計合理周到,還有助于提高產量(即所有產品中無缺陷產品的百分比)。
例如,集成到高通量檢測設備中的顯微鏡裝置通常需要直觀的遠程控制,以便所有技能水平的用戶都可以輕松準確地執行檢測。通過簡單的控制,您可以調整焦距、樣品觀察位置、觀察方法和放大倍率,以快速獲得用于檢測的圖像。我們提供各種能夠實現電動控制的裝置,如電動Z軸驅動顯微鏡裝置、電動照明器、電動分析儀、控制箱和手動開關。
我們還推出了一款帶有真空功能 (U-D5BDREMC-VA) 的電動物鏡轉盤,其可以改善清潔度,同時提高速度和耐用性。對于并不熟悉該裝置的人,物鏡轉盤(也稱作物鏡轉塔)可以容納不同放大率的物鏡。通過旋轉轉盤,用戶可以根據需要在不同的放大倍數下查看樣品。
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電動物鏡轉盤

半導體、FPD 和 OLED 行業的污染控制

清潔度是半導體、FPD 和 OLED 制造行業的檢查人員很關心的問題,這一點關系到是否可以生產出功能正常的產品。因此,應將檢測設備用于受控環境,如潔凈室。不允許灰塵從物鏡轉盤落到樣品上,如半導體晶圓。即使是微小的灰塵也會污染晶圓,破壞其功能,進而影響產品產量。

我們帶真空功能的電動物鏡轉盤 (U-D5BDREMC-VA) 使用負壓吸力,可減少物鏡轉盤旋轉時落下的細粒數量,并捕獲潤滑系統所用潤滑脂產生的任何氣體或灰塵。這種真空功能使我們的物鏡轉盤成為受控潔凈室環境的理想選擇。物鏡轉盤可用作半導體和FPD檢測設備的內置顯微鏡模塊。


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用于污染控制的帶真空功能的物鏡轉盤

用于半導體晶圓檢測及其他用途的各種物鏡轉盤

我們提供各種物鏡轉盤,這些物鏡轉盤可集成到檢測、生產和研究領域的系統中。我們的選擇包含手動和電動選項。

  • 手動物鏡轉盤:該產品系列可以支持諸如明場、暗場和微分干涉對比 (DIC) 等觀測方法,可以容納四至七個物鏡,滿足 ESD 規范等。

  • 帶編碼功能的物鏡轉盤:這種類型的手動物鏡轉盤可以檢測轉盤的物鏡安裝孔位置。您可以使用軟件將物鏡的放大倍率信息與其在轉盤上的位置相匹配,使您能夠更快地將放大倍率信息添加到捕獲的圖像中,同時降低手動數據輸入錯誤的風險。

  • 電動物鏡轉盤:這種類型的物鏡轉盤可以通過電動方式移動五個或六個物鏡。帶有真空功能的電動物鏡轉盤同樣已經推出。

  • 帶對中功能的物鏡轉盤:這種類型的物鏡轉盤可讓您通過手動或電動方式將物鏡的光軸對中。這樣可以改變物鏡轉盤的孔位置,以便針對每個物鏡的細微移動進行調整。最終將所有安裝的物鏡對準。經過調整,您會發現更換物鏡前后,中心位置是相同的。

  • 物鏡支架轉接器:這款轉接器 (STM7-MMOBAD) 可讓您只使用一個物鏡。如果您的應用不需要多個物鏡,那這是一種經濟實惠的選擇。請注意,這款轉接器(適配器)僅配備 RMS 螺絲 W26,并且沒有用于暗場照明的光路。

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您只需將一個物鏡連接到支持多個物鏡的系統,物鏡適配器 (STM7-MMOBAD) 實現了靈活性。左側:使用物鏡適配器連接了一個物鏡。中間:連接轉盤前。右側:使用物鏡轉盤連接了多個物鏡。


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