成人做爰免费视频免费看_成人a级高清视频在线观看,成人a大片在线观看,成人a大片高清在线观看,成人av在线播放,一a一级片,一级黄 中国色 片,一级黄 色蝶 片,一级黄色 片生活片

德國韋氏納米系統有限公司

薄膜方塊電阻和厚度測量—KLA45年電阻測量技術創新的桌面型解決方案

時間:2025-3-30閱讀:263
分享:

在半導體芯片等器件工藝中,后道制程中的金屬連接是經過金屬薄膜沉積,圖形化和蝕刻工藝,最后在器件元件之間得到導電連接。

 

對于半導體、PCB、平板顯示器、太陽能應用和研發等不同行業,對各種金屬層(包括導電薄膜、粘附層和其他導電層)都有各種各樣的電阻和厚度的量測需求,KLA Instruments™ Filmetrics® 事業部能夠提供先進的薄膜電阻測量解決方案。

 

金屬薄膜的電阻測量主要包括兩種技術:四探針法渦流法。兩種測量技術各有其優勢,適用于不同的應用場景。

 

我們先來了解一下這兩種技術的測量原理。

 

什么是四探針測量技術? 

 四探針測量技術已經存在了 100 多年,由于其操作簡單以及固有的準確性,一直備受青睞。如下圖所示,四探針與導電表面接觸,電流在兩個引腳之間流過,同時測量另外兩個引腳之間的電壓。

 

圖片 

標準的(左)和備用的(右)四探針測量原理圖。R50具有雙配置測量方法,通常用于薄膜邊緣出現電流集聚或引腳間距變化需要校正的情況。

 

引腳的排列方式通常是線性排列或方形排列,此處主要討論 R50 探針使用的線性排列。對于大多數應用而言,使用的是標準測量配置 (上圖左)。而備用測量配置(上圖右)可作為 R50 雙配置測量方法的一部分,用于薄膜邊緣電流集聚或需要校正引腳間距變化的情況。此處展示的測量結果僅使用了標準測量配置。

 

什么是渦流測量技術? 

圖片 

渦流 (EC) 技術是指線圈中的交變電流會在導電層中產生交變渦流。這些交變渦流反過來會產生一個磁場,從而改變驅動線圈的阻抗,這與該層的方塊電阻成正比。

 

渦流技術通過施加交變磁場,測量導電層中感應的渦流。線圈中的交變驅動電流會在線圈周圍產生交變初級磁場。當探測線圈接近導電表面時,導電材料中會感應出交變電流 (渦流)。這些渦流會產生自己的交變次級磁場并和線圈耦合, 從而產生與樣品的方塊電阻成正比的信號變化。導電層越導電,渦流的感應越強,驅動線圈的阻抗變化就越大。 

圖片 

 

自1975年KLA的第一臺電阻測試儀問世以來,我們的電阻測試產品已經革命性地改變了導電薄膜電阻和厚度的測量方式。

 

R50方塊電阻測試儀則是KLA超過45年電阻測量技術發展的創新之作。

 

R50提供了10個數量級電阻跨度范圍使用的4PP四探針測試技術,以及高分辨率和高靈敏度的EC渦流技術,續寫了KLA在產品創新能力和行業先鋒地位的歷史。

R50方塊電阻測量數據分析和可視化 

 

無論是四探針法還是渦流法,方塊電阻 (Rs) 測量完成后, 用戶根據自己需求,可以直接導出方塊電阻值,也可以使用 RsMapper 軟件中的轉換功能,將數據直接轉換為薄膜厚度:

Rs = ρ/t

其中 ρ 是電阻率,t 是薄膜厚度。

 

圖片 

 

上圖顯示了 2μm 標準厚度鋁膜的方塊電阻分布圖和薄膜厚度分布圖。根據方塊電阻數據(左),利用標準電阻率(中),將數據轉換為薄膜厚度分布圖(右)。在某些應用中,將數據顯示為薄膜厚度分布圖可能更有助于觀測樣品的均勻性。RsMapper 軟件還提供差異分布圖,即利用兩個特定晶圓的測繪數據繪制成單張分布圖來顯示兩者之間的差異。此功能可以用來評估蝕刻或拋光工藝前后的方塊電阻變化。

 

如何選擇適當的測量技術?

 R50 分成2個型號:R50-4PP 是接觸式四探針測量系統 ;R50-EC是非接觸式渦流測量系統。

 R50-4PP能測量的最大方塊電阻為 200MΩ/sq.,因而非常適合比較薄的金屬薄膜。對于非常厚的金屬薄膜,電壓差值變得非常小,這會限制四探針技術的測量。它只能測量厚度小于幾個微米的金屬膜,具體還要取決于金屬的電阻率。

 

由于非常薄的金屬薄膜產生的渦流很小,加上R50-EC 的探頭尺寸非常小,所以使用渦流方法測量方塊電阻時,金屬厚度最薄的極限大約在 100 nm (或約10 Ω/sq.,與金屬材料性質有關)。

 

對于非常厚的金屬薄膜,渦流信號會增加,因此對可測量的金屬薄膜的最大厚度實際上沒有限制。

 

在四探針和渦流技術都可使用的情況下,一個決定因素就是避免因引腳接觸樣品而造成損傷或污染。對于這類樣品,建議使用渦流技術。對于可能會產生額外渦流信號的襯底樣品,并且在底部有絕緣層的情況下,則建議使用四探針技術。

 

總結

簡而言之,Filmetrics R50 系列可以測量大量金屬層。對于較薄的薄膜,它們的電阻較大而四探針的測量范圍較大,因而推薦使用 R50-4PP(四探針)。對于非常厚的薄膜,或者需要非接觸式測量的柔軟或易損傷薄膜,推薦使用 R50-EC(渦流技術)。

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~

以上信息由企業自行提供,信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業負責,化工儀器網對此不承擔任何保證責任。

溫馨提示:為規避購買風險,建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。

撥打電話
在線留言
主站蜘蛛池模板: WWW婷婷AV久久久影片| 国产女人第一次做爰视频| 国产亚洲精品久久无码小说| 亚洲成人自拍网| 久久热这里只有精品1| 国产精品动漫在线观看| 我是韩三千漫画在线观看免费| 国产日韩精选在线观看| 动漫小黄片网站| 国产欧美一区二区精品仙草咪| 久久国产精品免费观看| 中文字幕福利视频在线一区| 国产人妻午夜在线无码| 色噜噜噜色噜噜噜色琪琪| 欧美日韩色图网站| 亚洲精品第一区二区APP| 香蕉视频色版在线观看| 密桃麻豆久久国产精品| 亚洲一区日韩欧美| 亚洲精品无码高潮喷水A片小说| 久久亚洲精精品中文字幕| 强被迫伦姧高潮无码A片漫画| 伊人春色 日韩| 大香蕉免费成人网| 日韩精品一区二区精品| 校花岔开玉腿欲液横流| 综合久久国产九一剧情麻豆| 欧美亚洲另类热图| 日韩中文字幕视频播放| 日韩精品一区二区三区久久| 国产精品久久久久精囗交| 久久国产精品久久国产精品| 国自产拍偷拍精品啪啪模特| 久久精品国产亚洲av热九| 国产好大好硬好爽免费不卡| 一边做一边说国语对白| 韩国理论电影女生宿舍| 国产欧美精品AAAAAA片| 免费一级毛片在线视频观看| 精品一区二区三区日韩| 一区二区三区东京热|