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ENERGETIQ 激光驅動寬帶光源EQ-99X，EQ-99XFC，EQ-1500，EQ-77

Energetiq光源是一款高亮度，高穩定、長壽命寬譜光源，采用革命性的光源技術——LDLS&;激光驅動光源技術，使用連續激光直接加熱氙離子至需要的溫度，以產生高效的寬頻譜光。具有高可靠性，高性能，高亮度，長壽命等特點。其產品具有很寬的光譜范圍，譜線包括軟X 射線（SXR），遠紫外線（EUV）, 深紫外線（DUV）, 并覆蓋從可見光到紅外光區（IR），波長范圍從 170nm到2100nm 以上。無電極的 LDLS 技術可以產生少量，高亮度的等離子體，以獲取高效的光源，并且延長了燈的使用壽命。

EQ-99X LDLS白光光源                           EQ-99XFC LDLS白光光源

       光纖耦合準直方案                            高功率聚焦耦合方案

ENERGETIQ 激光驅動寬帶光源EQ-99X，EQ-99XFC，EQ-1500，EQ-77

EQ-99X產品參數：

    Energetiq 自主研發的激光驅動光源（LDLS）技術使用連續激光直接加熱氙離子至需要的溫度，以產生高效的寬頻譜光。使用傳統的方法，如弧光燈，氘燈，當使用電極連接電源和等離子體時，燈的亮度，紫外能量，使用壽命非常有限。無電極的LDLS 技術可以產生少量，高亮度的等離子體，以獲取高效的光源，光譜范圍包括從深紫外到包括可見光及以上的譜線，并且延長了燈的使用壽命。電極激光驅動光源技術

?革命性的新技術---連續激光等離子放電

?寬譜線，高亮度,從 170nm 到包括可見光區至2000nm 以上。

             EQ-99X LDLS白光光源工作原理

性能和特點優勢

l  -連續激光等離子體放電

l  -*亮度，波長*覆蓋從170nm 到所有可見光及以上的波長

l  -解決了對燈需求的多樣性（可代替氘燈，鎢燈，氙弧光燈），簡化光學系統

l  -*的空間穩定性，可重復測量

l  -可在極短時間，或很長時間內有穩定的能量輸出，可重復測量

l  -長壽命，無電極工作，降低消耗成本，減少光路校準量

                            EQ-99X LDLS白光光源 亮度曲線

                             EQ-99X LDLS白光光源 工作壽命

ENERGETIQ 激光驅動寬帶光源EQ-99X，EQ-99XFC，EQ-1500，EQ-77

相關資料

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