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四甲基氫氧化銨(TMAH)濃度在線監測儀在半導體行業應用介紹

閱讀:5246          發布時間:2017-3-31

四甲基氫氧化銨(TMAH)濃度在線監測儀在半導體行業應用介紹

 長沙楚一測控專業開發及生產四甲基氫氧化銨(TMAH)濃度在線監測儀(檢測儀、測量儀)、四甲基氫氧化銨(TMAH)在線濃度計、TMAH在線折光儀(折射儀)、四甲基氫氧化銨濃度在線測量儀、TMAH折射儀濃度計;顯影液在線濃度檢測儀,顯影液在線測定 ,在線TMAH濃度儀。

  四甲基氫氧化銨(TMAH),在電子行業中廣泛用作FT-LCD、IC正膠顯影劑、硅晶蝕刻劑、CMP過程超純清洗劑,同時也是液晶顯示器中的顯像液。隨著電子工業日新月異的發展,PCB技術也在飛速發展。作為PCB圖形成像之關鍵工序——顯影,直接影響著線路品質及阻焊的品質,顯影的品質要求不能有顯影不凈,不能有顯影過度,不能有掉線和綠油脫落等,顯影露銅點50% ~ 60%(一半顯影段)。因此顯影液濃度的控制對顯影工序起著非常重要的作用。

  例如:根據工藝要求需要將現存的濃度為20%的TMAH潔凈液稀釋到目標濃度2.48%,需要在線儀表提供準確TMAH濃度測量,已達到配置目標濃度顯影液的目的。目前國內常用采樣后分析系統測量TMAH的濃度,測量過程大概需要20分鐘時間,該方式不具備實時性,過程管道的濃度變化無法及時監測到,導致調控滯后。為了提高生產量,顯影液的配對效率需要提高,縮短配比的時間,需要在線實時對TMAH的濃度進行監控,完善工藝控制要求。采用折光原理的TMAH在線濃度儀能夠滿足在線檢測要求,且測量精度高。
  四甲基氫氧化銨(TMAH)在線濃度計利用折光的原理測得溶液的折光率,折光率與TMAH溶液的濃度有*的對應關系。通過換算從而得到溶液的實際濃度。這種測量原理穩定性好,精度高,它適用于管道安裝或容器壁處的安裝,以及其它等多種安裝方式。

在四甲基氫氧化銨(TMAH)濃度計的優點:
 1.在線連續檢測,不再需要人工頻繁取樣實驗室檢測,節省大量人力、財力
 2.消除人工檢測誤差,保證產品一致性
 3.連續測量,迅速反饋,提升產品質量
 4.提高自動化程度,相關的濃度數據可通過組網的形式與中控室連接
 5.不受溶液氣泡、壓力影響(與密度法相比)

CY-TMAH在線濃度傳感器

產品型號CY-TMAH-ACY-TMAH-D
測量范圍0.0 至30.0%
分 辨 率( Brix ):0.1%   溫度:0.1°C
測量精度 ±0.1%    溫度 ±0.5°C
測量溫度 5至 100°C  (自動溫度補償)
環境溫度5至 40°C
輸入電源DC 24V
關鍵材質傳感器殼體:SUS316L  
信號輸出DC4 至 20mARS-232
防護等級IP67   防塵、防濺水
zui高壓力< 1MPa
產品尺寸¢99X175
選 購 件*清洗組件CY-CL77
*CY-TMAH-D建議選配CY-MC濃度控制儀使用


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