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    Akribis-air智能研磨拋光機，具有高度自動化的獨立系統(tǒng)，提供了*工藝創(chuàng)新，在短時間內(nèi)可實現(xiàn)zui高水平的處理。Akribis-Air智能研磨拋光機，功能包括：

• 盤面平整度控制
• 夾具自動設置
• 動態(tài)負荷控制
• 增加控制參數(shù)
• 實時數(shù)據(jù)收集和反饋
• 計量磨料供應
• 自動清洗功能

    單工作站系統(tǒng)配有400mm的盤，速度為100rpm。當使用LOFITECH的動態(tài)負載控制的新智能夾具系統(tǒng)，在廣泛的應用程序中提供快速、可靠和高度準確的結果。LOFITECH的空氣驅(qū)動智能夾具可用于100毫米和150毫米晶圓處理。

       Akribis-air智能研磨拋光機典型的應用包括:

• 硅集成電路、太陽能和波導
• III-V族化合物稀釋和拋光
• 藍寶石和發(fā)光二極管
• 碳化硅光學,發(fā)光二極管和電力電子
• 氮化鎵-光學儀器、激光、射頻高頻