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北京華沛智同科技發(fā)展有限公司
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金剛石,工程師的朋友

時間:2016/10/28閱讀:2637
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      金剛石是一種純碳物質(zhì),也是鉆石的原石

     近年來,隨著開發(fā)技術(shù)難題的攻克,具有晶瑩質(zhì)感的鉆石不僅僅是女孩們的zui愛,也成為工程師的朋友。由于金剛石的性能,金剛石納米薄膜已經(jīng)在MEMS、表面聲波(SAW)器件、熱量管理及摩擦涂層等方面得到廣泛應(yīng)用。

     金剛石生長從應(yīng)用技術(shù)上講需要將納米薄膜置于硅晶片上生長。這個技術(shù)挑戰(zhàn)的關(guān)鍵,是金剛石外延生長不能直接在晶片上進行,需要在生長前先將金剛石納米顆粒種植于晶片上。競爭性的生長過程中,往往導(dǎo)致表面變粗糙,不利于金剛石生長的關(guān)鍵應(yīng)用。

     為了克服表面粗糙的難題,來自卡迪夫大學(xué)、英國帝國學(xué)院和牛津大學(xué)的研究學(xué)者們組建的開發(fā)團隊,共同開發(fā)出一套全新工藝,顯著地降低了薄膜表面粗糙的問題。

     研發(fā)人員使用Logitech Tribo臺式化學(xué)機械拋光設(shè)備,開發(fā)出了一套使用聚氨酯/聚酯拋光布和堿性硅膠拋光液的新方法,*解決了薄膜表面粗糙的問題。使用原子力顯微鏡(AFM)、掃描電子顯微鏡(SEM)和X射線光電子能譜對實驗結(jié)果進行檢測,結(jié)果顯示通過此方法,25μm²范圍內(nèi),晶片表面粗糙度從18.3nm降低至1.7nm。

     欲了解更多相關(guān)研究,。

 

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