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日本SMC流量傳感器的工作原理

時間:2018/11/8閱讀:2736
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用于空氣

適用液體:空氣,氮氣,氬氣,二氧化碳
空氣質量等級為JIS B 8392.1-1。1.2至1.6.2,ISO 8573.1-1。1.2至1.6.2。

用于去離子水,化學品

適用液體:去離子水
超純水
不會腐蝕管道材料的液體。

用于水

適用液體:
水(50%)和乙二醇(50%)的水混合物
 

卡曼漩渦

當細長物體(渦流發生器)放置在流動中時,在下游側產生往復渦流。這些渦流在某些條件下是穩定的,并且它們的頻率與流速成比例,得到下面的公式。

f = k×v 

f:渦旋頻率v:流速k:比例常數(由渦流發生器的尺寸和形狀決定)。因此,可以通過檢測該頻率來測量流速。

熱式(MEMS)

該MEMS傳感器芯片由上游溫度測量傳感器(Ru)和下游溫度測量傳感器(Rd)組成,它們從安裝在膜上的鉑薄膜涂層加熱器(Rh)的中心對稱放置,以及環境溫度傳感器( Ra)用于測量氣體溫度。
原理如下圖所示,Ru和Rd之間的電阻差異與流速成正比,因此電阻的測量和分析可以顯示氣體的流動方向和速度。
Ra用于補償氣體和/或環境溫度。



該流量開關使用L / min作為流量指示器單元。質量流量在0℃和101.3kPa以及20℃和101.3kPa的條件下轉換和顯示。

對于空氣
適用液體:空氣,氮氣,氬氣,二氧化碳
空氣質量等級為JIS B 8392.1-1。1.2至1.6.2,ISO 8573.1-1。1.2至1.6.2。

熱敏型(熱敏電阻)

加熱的熱敏電阻安裝在通道中,當熱敏電阻被引入通道時,流體從熱敏電阻吸收熱量。熱敏電阻的電阻值隨著熱量的增加而增加。由于電阻值增加比與流速具有均勻的關系,因此可以通過測量電阻值來檢測流速。為了進一步補償流體和環境溫度,溫度傳感器也內置在開關中,以便在工作溫度范圍內進行穩定的測量。



該流量開關使用L / min作為流量指示器單元。質量流量在0℃和101.3kPa以及20℃和101.3kPa的條件下轉換和顯示。

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