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耐氟氯離子的反應釜材質選擇蒙乃爾合金在常壓沸點下的耐腐蝕性很好，但它就不耐硝酸＋氫氟酸的混酸，此時就要選用高鉻的鎳鉻合金或鎳鉻鉬合金（例如哈氏合金G35），同時耐這兩種環境的，只有一些鎳鉻鉬合金（但在高溫HF中腐蝕率也偏高）
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