賽默飛霧化室須定期清洗，清洗時可先取下燃燒器，可用去離子水從霧化室上口灌入，讓水從廢液管排走。若噴過濃酸、堿溶液及含有大量有機物的試樣后，應馬上清洗。注意檢查排液管下水封是否有水，排液管口不要插入廢液中防止二次水封導致排液不暢。
PTFE和PFA霧化室的內表面經過特別處理，確保濕度均勻，提供一致排液。這一處理使得內壁變成*的褐色。請注意不要使用 H2O2 清潔霧化室，這將加速內壁劣化。另外不要讓任何設備物理接觸霧化室內壁，包括您的雙手或刷子。
賽默飛霧化室的常見種類有下面這些：
1、筒型霧化室是利用霧化室內壁上的湍流沉降作用，或利用重力作用除去較大的霧滴。在早期的ICP中，筒型霧化室用得較為普遍。
2、旋流霧化室是圓錐形的，氣溶膠以切線方向噴入霧化室并向下盤旋行進，這種運動產生了作用在霧滴上的離心力，從而將霧滴拋向器壁。在霧化室底部，氣溶膠改變方向并與原來路線同軸地成更緊密的螺旋形向容器頂部移動。拋向器壁的大霧滴由底部的廢液管排出，而小霧滴通入伸入容器頂部一小段管進入炬管。旋流霧化室具有高效、快速和記憶效應小的特點，在現代ICP中已得到廣泛的應用。
3、梨型霧化室的去溶劑能力較強，特別適用于有機（油樣）進樣系統。
賽默飛霧化室內壁經過特別處理，來確保正確排液。內壁是清潔的，不包含污染物，*惰性。觸摸、磨刮或損壞內壁可能導致性能變差，所以我們要注意了。
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