潔凈室是指對(duì)空氣潔凈度、溫度、濕度、壓差、噪聲等參數(shù)都需要進(jìn)行控制的密閉空間。許多精密加工行業(yè)、半導(dǎo)體、芯片、醫(yī)學(xué)手術(shù)室、電子設(shè)備、航天、制藥、生物實(shí)驗(yàn)室行業(yè)等都需要潔凈室。比如醫(yī)學(xué)行業(yè)主要是為了防止病jun、細(xì)jun、灰塵對(duì)病人手術(shù)過程中造成感染；溫濕度對(duì)于精密儀器儀表產(chǎn)品的精確程度有很大影響。
半導(dǎo)體制造潔凈室對(duì)溫濕度的要求一般是溫度處于22-28℃ ，濕度在30-50 RH（%）之間。潔凈室運(yùn)作過程中對(duì)相對(duì)濕度環(huán)境控制尤為常見。因?yàn)橄鄬?duì)濕度會(huì)對(duì)潔凈室總體表現(xiàn)下降有較大影響，比如加速細(xì)jun繁殖；人體舒適感不佳，人的汗液可能污染半導(dǎo)體產(chǎn)品；出現(xiàn)靜電荷；加快金屬fu蝕生銹；水汽冷凝污染半導(dǎo)體表面的清潔度；光刻的退化；影響光刻膠附著能力等。
因此，對(duì)于半導(dǎo)體潔凈室的溫濕度控制尤為重要。現(xiàn)在的半導(dǎo)體潔凈室系統(tǒng)都會(huì)嚴(yán)格控制溫濕度、空氣潔凈度和壓差程度等，在室內(nèi)安裝不同的溫濕度傳感器、壓差傳感器等，做到實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、實(shí)時(shí)控制。蘇州宏瑞凈化研發(fā)生產(chǎn)的溫濕度變送器傳感器、手持式溫濕度儀、壓差計(jì)等產(chǎn)品應(yīng)用于各種生物實(shí)驗(yàn)室、制藥車間、潔凈室的溫濕度監(jiān)測(cè)。
不同的潔凈室對(duì)于溫濕度的要求是不同的，主要是根據(jù)加工使用的產(chǎn)品本身的特性來考量。但是有一點(diǎn)，溫濕度不管在任何行業(yè)，作為一個(gè)環(huán)境因素發(fā)揮著重要的影響力。我們總是運(yùn)用各種手段進(jìn)行溫濕度數(shù)據(jù)監(jiān)控，以便達(dá)到我們的理想狀態(tài)。
的介紹，我司作為自主研發(fā)生產(chǎn)30年的生產(chǎn)廠家，可按10萬級(jí)和100萬級(jí)等潔凈級(jí)別的半導(dǎo)體車間標(biāo)準(zhǔn)要求及國(guó)家GMP規(guī)范要求為電子、生物醫(yī)藥、醫(yī)院手術(shù)室、光纖光纜、食品飲料、精密儀器、半導(dǎo)體及新材料應(yīng)用等行業(yè)提供全系列的檢測(cè)儀器和技術(shù)支持，如實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)時(shí)所需的“潔凈環(huán)境在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)"，不定時(shí)檢測(cè)時(shí)的“風(fēng)量罩"“壓差儀"“塵埃粒子計(jì)數(shù)器"“浮游菌采樣器"等。
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