掃描探針顯微鏡SPM （Scanning Probe Microscope）是各種新型探針顯微鏡的統稱，如掃描隧道顯微鏡 STM（Scannning Tunneling Microscope），原子力顯微鏡 AFM（Atomic Force Microscope）, 磁力顯微鏡 MFM （Magnetic Force Microscope），摩擦力顯微鏡LFM （Lateral Force Microscope）及開爾文探針力顯微鏡 KPFM （Kelvin Probe Force Microscope）等等。 SPM 作為一項表面分析技術，不僅可以在納米甚至原子級別分析樣品表面三維形貌（橫向分辨率 0.1 nm，縱向分辨率 0.01 nm），還可以表征多種物理性質，如粘彈性，摩擦力，電學及磁學性質等等。除了的形貌分辨率及多功能化外，SPM 還可以在多樣的環境中表征，如真空環境，大氣環境，液態環境甚至低溫，常溫及高溫環境下，均可運行。因此，SPM 被廣泛應用于物理，化學，材料，微電子，生物及醫藥等等科學領域的研究。

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