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一、等離子體介紹
1.1產品原理
晶圓等離子清洗機通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性"組分包括：離子、電子、原子、自由活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質進行氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質，從而優化材料表面性能，實現清潔、改性、刻蝕等目的。
1.2行業應用
二、產品介紹
2.1產品概述
SPV-100晶圓等離子清洗機(Plasma cleaner)，氣體通過激勵電源離化成等離子態，等離子體作用于產品表面，清洗產品表面污染物，提高表面活性，增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環保、高效、穩定的表面處理方式。
2.2產品優勢
v產品放置治具靈活多變，可適應不規則的產品。
v水平電極設計，可滿足軟性產品處理需求。
v低耗能、耗氣產品。
v便捷的收放板方式。
v真空系統集成，占地面積小。
v合理的等離子反應空間，使處理更均勻。
v集成的控制系統設計，使操作更方便。
2.3產品結構
真空等離子體表面處理系統主要包括三個部分：真空腔及真空系統，等離子體發生器，控制系統。
（A）真空腔及真空發生系統
真空腔固定于機柜框架內，左右兩側為可拆門，因此內部的真空腔及真空系統的維修是極方便的。真空發生系統由波紋管、KF接頭、真空泵以及油霧過濾器組成，核心部件真空泵（真空泵組）。
（B）等離子體發生器
等離子體發生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓，產生低溫等離子體。利用高頻轉換技術形成高頻電壓加到電極板上，當真空腔內達到一定真空度時，產生等離子體放電現象，放電后電路會自動調節電壓到適當值，保證電路正常穩定放電。
（C）控制系統
本系統使用MCGS觸摸屏、西門子PLC、中文界面。設備的工藝流程控制：真空泵啟動->擋板閥開啟->達到設定的真空度->通入工藝氣體->RF放電->工作時間到破真空->工作完成。設備分自動和手動兩種方式。
2.4產品規格
真空等離子主機 | ||
設備尺寸 | L1000×W900×H1750mm | |
重量 | 500Kg | |
需求電源 | AC380V，50/60Hz，5線，25A（總空開選型為C型以上） | |
等離子發生器規格 | ||
電源功率 | 射頻 | 中頻 |
0~600W | 0-1000W | |
電源頻率 | 13.56MHz | 40 KHz |
真空系統 | ||
真空泵 | 飛越雙級旋片泵（油泵）：60m3/h | |
真空管路 | 全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 | |
材質 | 鋁合金 | |
厚度 | 25mm | |
密封性 | 軍工級焊接密封 | |
腔體內部尺寸 | 450×450×500mm（寬×高×深） | |
電極板有效尺寸 | 322×351mm（寬×深） | |
可用空間間距 | 20mm | |
電極板布置方式 | 水平電極板 | |
工作托盤 | 標配一套，材質可選配(鋁材、鋼絲網） | |
工作空間 | 8層 | |
工藝氣體 | ||
流量范圍 | 0~300SCCM | |
工藝氣體氣路 | 標配兩路，可定制。工藝氣體管路為鐵氟龍材質 | |
控制系統 | ||
系統控制 | PLC | |
交互方式 | 7寸觸控屏幕 | |
2.5.1主機尺寸圖紙
2.5.2等離子腔體圖紙
三、規格要求
3.1廠務規格要求
廠務規格要求 | |
交流電源規格 | 電源：AC380V，50/60Hz，5線，25A（總空開選型為C型以上） |
廠務排氣 | 流量：2.0 m3/min |
廠務工作氣體要求 | 流量：1~10 L/min 壓力：3~7 kg/cm2 管徑：6×4 mm 材質：PU管 純度：99.99%以上 |
廠務壓縮空氣要求 | 流量：1~10 L/min 壓力：3~7 kg/cm2 管徑：8×5 mm 材質：PU管 露點：-40℃以下 Particle＞0.3μm：10Pcs/ft3 |
3.2
配置清單 | |||||
序號 | 名稱 | 型號和規格 | 數量 | 備注 | |
1 | 主機 | SPV-100 | 1 | 臺 | |
2 | 真空腔體 | 鋁合金真空腔體 | 1 | PCS | |
3 | 激勵電源 | 射頻電源 | 中頻電源 | 1 | 套 |
頻率：13.56MHz； 功率：0~600W 全自動真空電容匹配器 | 頻率：40KHz； 功率：0~1000W; | ||||
4 | PLC | 德國西門子，S7-200 | 1 | PCS | |
5 | 觸摸屏 | 昆侖通態，七寸屏幕，TPC7072GI | 1 | PCS | |
6 | 流量計 | 英國warwick品牌 | 2 | PCS | |
7 | 真空泵組 | 飛越雙級旋片泵（油泵）：60m3/h | 1 | 臺 | |
8 | 真空計 | 愛德華 | 1 | PCS | |
9 | 說明書 | 真空等離子清洗機SPV-100操作說明書 | 1 | 份 | |
3.3
驗收標準 | ||
項目 | NO. | 內容 |
硬件驗收 | 1 | 設備清單驗收 |
2 | 出廠報告 | |
3 | 說明書 | |
性能驗收 | 1 | 試用樣品進行處理，處理效果和均勻性滿足客戶驗收標準或者合同協議要求。 |
穩定性測試 | 1 | 連續10分鐘等離子清洗測試 |
2 | 試片水滴角測試 | |
驗收日期 | 1 | 設備交付后 2 個月內必須完成驗收 |
3.4
損耗清單 | ||||
序號 | 名稱 | 型號和規格 | 數量 | 壽命時間 |
1 | 真空泵過濾芯 | AF60 | 1PCS | 6個月 |
2 | 真空泵油 | A200 | 5L | 3個月 |
3 | 腔門密封圈 | Φ10 | 1PCS | 1年 |
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