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SPA-5800-等離子去膠機
  • SPA-5800-等離子去膠機
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貨物所在地:浙江寧波市

更新時間:2024-12-26 16:43:29

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半導(dǎo)體等離子去膠機通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、原子、自由活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)進(jìn)行氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì),從而優(yōu)化材料表面性能,實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。

  一、等離子體介紹

  1.1產(chǎn)品原理

  通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、原子、自由活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)進(jìn)行氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì),從而優(yōu)化材料表面性能,實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。

  1.2行業(yè)應(yīng)用

image.png

  二、產(chǎn)品介紹

  2.1產(chǎn)品概述

  半導(dǎo)體等離子去膠機(Plasma cleaner)是國內(nèi)的“數(shù)字化大氣等離子清洗機",一款擁有強大的“CPU"的大等離子清洗機。采用穩(wěn)定性高的移相全橋軟開關(guān)電路,擁有數(shù)字通信及模擬通信兩種數(shù)據(jù)傳輸方式,通過ARM芯片強大的數(shù)據(jù)處理功能,實現(xiàn)設(shè)備數(shù)字化控制,客戶產(chǎn)線,可達(dá)到中央控制系統(tǒng)統(tǒng)一監(jiān)控,使清洗效果更穩(wěn)定、更持久,抗干擾性能增強,減低故障率,控制維護(hù)成本,提高產(chǎn)能,有效減低生產(chǎn)成本。

  2.2產(chǎn)品優(yōu)勢

  (1)軍工級硬件設(shè)計,使用環(huán)境溫度范圍可達(dá)到-25℃-50℃,適應(yīng)不同的嚴(yán)苛場景,MTBF時間可達(dá)到≥190Khrs MIL-HDBK-217F(25℃);

  (2)數(shù)字化控制,顯示屏顯示,實時監(jiān)控,抗干擾強;

  (3)采用TI品牌的移相全橋軟開關(guān)電路和PFC功率因素校正,相對模擬硬開關(guān)電路效率可提高10%以上,響應(yīng)時間小于0.1s,抗干擾性強;

  (4)搭載ST品牌的ARM芯片,人機交互簡單明了,強大的遠(yuǎn)程調(diào)試通訊功能,無縫對接任意的應(yīng)用場景,自主研發(fā)的軟件對實時采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行智能判斷并協(xié)調(diào)工作,可實現(xiàn)功率自匹配,穩(wěn)定無變化;

  (5)支持RS-485/232數(shù)字通信接口和模擬通信接口,強大的遠(yuǎn)程通信功能;

  (6)具有6種檢測功能:氣壓檢測、主板溫度檢測、變壓器弧壓檢測、變壓器初級峰值電流檢測,電網(wǎng)電流檢測,噴槍轉(zhuǎn)速檢測;

  (7)具有十余種故障報警功能,故障排查定位時間縮短80%以上;

  (8)等離子發(fā)生器同時支持射流噴槍、旋轉(zhuǎn)噴槍及線性寬幅,一鍵設(shè)置,隨時變換;

  (9)具有過溫防護(hù)、過載防護(hù)、短路、斷路、漏電防護(hù)、各種誤操作保護(hù)等防護(hù)功能。

  2.3半導(dǎo)體等離子去膠機結(jié)構(gòu)

  結(jié)構(gòu):高壓數(shù)字電源發(fā)生器、等離子發(fā)生裝置噴槍與控制系統(tǒng)組成。

  (A)高壓數(shù)字電源發(fā)生器:

  等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵,本產(chǎn)品采用中頻電源進(jìn)行激勵,數(shù)字化控制方式,可實現(xiàn)功率自匹配,保證功率的穩(wěn)定輸出,且輸出精度高,輸出功率不受氣壓波動,市網(wǎng)電壓波動,噴槍電極老化等影響。參數(shù)需根據(jù)樣品實際情況進(jìn)行調(diào)節(jié),以便達(dá)到處理效果。

  (B)等離子發(fā)生裝置噴槍:

    等離子去膠機搭配高速旋轉(zhuǎn)噴槍:主要處理大面積、形狀較復(fù)雜的材料,處理面積范圍20-80mm,可與原有的生產(chǎn)流水線搭配,實現(xiàn)全自動在線生產(chǎn),節(jié)約人力成本。

  (C)控制系統(tǒng):

  控制系統(tǒng)作用在于控制SPA-5800大氣等離子清洗機的運行,以及整體系統(tǒng)的保護(hù)。

  2.4產(chǎn)品規(guī)格

大氣等離子主機

設(shè)備尺寸

L580*W480*H149mm

重量

10KG

需求電源

電源:單相AC220V,50/60Hz, 10A,接地電阻小于4Ω

等離子發(fā)生器規(guī)格

電源功率

600-1000W可調(diào)(依據(jù)負(fù)載情況設(shè)定范圍)

電源頻率

50/60Hz

遠(yuǎn)程通信方式

支持485接口,232接口,并有模擬通信接口

控制方式

數(shù)字控制,可選本地控制與遠(yuǎn)程控制

等離子槍頭規(guī)格

處理寬度

20-90mm

槍頭尺寸

L308*W76*H149mm

重量

6.5KG

槍頭可調(diào)節(jié)高度

5-15mm

氣壓范圍

標(biāo)準(zhǔn)0.2MPA,0.08~0.25MPA可調(diào)

工藝氣體

使用氣體

CDA或者N2

檢測與報警

檢測

氣壓檢測、主板溫度檢測、變壓器弧壓檢測、變壓器初級峰值電流檢測,電網(wǎng)電流檢測,噴槍轉(zhuǎn)速檢測

報警

具備轉(zhuǎn)速、溫度、電壓、氣壓、過載、漏電、功率不匹配、短路、開路、過流等保護(hù)功能

  設(shè)備尺寸圖紙

  2.5.1槍頭尺寸圖

2.5

image.png


  2.5.2電源尺寸圖

image.png

  三、規(guī)格要求

  3.1 廠務(wù)規(guī)格要求

廠務(wù)規(guī)格要求

需求電源

電源:單相AC220V,50/60Hz, 10A,接地電阻小于4Ω

廠務(wù)排氣

流 量 :5m3/min

材質(zhì):耐腐蝕材質(zhì)

廠務(wù)壓縮空氣要求

管徑:8mm

材質(zhì):PU 管

壓力:0.4-0.6MPa

氣源質(zhì)量應(yīng)該滿足:固體顆粒粒徑<=0.1um,含油量<=0.01mg/m3,壓力露點-40°C以下

3.2


配置清單

序號

名稱

型號和規(guī)格

數(shù)量

備注

1

主機發(fā)生器

SPA-5800

1

2

常規(guī)槍頭

按客戶要求配備

1

3

普通噴嘴

按客戶要求配備

1

PCS

4

金屬波紋管長

線長3.5M

1

5

送貨單

紙質(zhì)文檔

1

6

DB15接頭

線長20cm

1

7

產(chǎn)品說明書

紙質(zhì)文檔

1

8

產(chǎn)品合格證

紙質(zhì)文檔

1

9

產(chǎn)品保修卡

紙質(zhì)文檔

1

10

產(chǎn)品質(zhì)檢報告

紙質(zhì)文檔

1




損耗清單

序號

名稱

型號和規(guī)格

數(shù)量

壽命時間

1

噴嘴

/

1

2300H

2

電極

/

1

1800H

3

皮帶

/

1

4800H

4

碳刷

/

1

6000H


  注:耗材的使用壽命時間與現(xiàn)場的使用條件有關(guān)系,以下壽命時間僅供參考。


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