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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
SemiChill 程控型高低溫循環(huán)冷卻器
產(chǎn)品簡介:
特別適用于半導(dǎo)體工業(yè)，電子行業(yè)，汽車行業(yè)，新能源行業(yè)的復(fù)雜溫度控制
溫度范圍：-20 ～ +130℃
- 高品質(zhì)材料和零配件 , 可保障長時間高負(fù)荷工作 , 與液體接觸部分全部選用不銹鋼或特殊塑料
- 高性能循環(huán)泵可以保障長時間連續(xù)工作 , 泵壓和流量可以在操作鍵盤上分級調(diào)節(jié) , 壓力棒狀顯示
- 操作簡單的鍵盤操作 , 高亮 VFD 大屏幕顯示器
- 工業(yè)級的主開關(guān)和緊急切斷開關(guān) , 高低溫報警 , 低液位報警
- 大制冷功率大于 10kW, 大溫度范圍：-20~130℃；大可選加熱功率可到 12KW
- 設(shè)計合理 , 節(jié)省空間 , 液位指示直觀 , 防結(jié)冰保護功能
- SC2500a,SC5000a 為風(fēng)冷型；SC2500W,SC5000W 和 SC10000W 為水冷型
整個系統(tǒng)模塊化設(shè)計 , 客戶可以根據(jù)需要進行選擇：
1、有 ECO、Professional 兩種控制模式可選
2、四種溫度范圍可選：+5~+35℃；-20~+35℃；-20~+80℃；-20~+130℃
3、兩種循環(huán)泵可以選擇： P3(33L/min,3.5bar)；P4(43L/min,4.3bar)
4、四種功率加熱器可選 : H0(0kW)；H1(1kW)； H5(5kW)；H12(12kW)
應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體行業(yè)（etching process,stainless steel chucks, PVD, sputtering, wet benches）
包裝行業(yè)塑料行業(yè)
技術(shù)參數(shù):
型號 | 溫度范圍 | 溫度穩(wěn)定性 | 制冷功率kW | 循環(huán)泵 | 加熱功率 | 充液體積 | 外形尺寸 | 重量 | ||
℃ | ℃ | +20℃ | 0℃ | -10℃ | L/min | kW | L | WxLxHcm | Kg | |
SC2500a | -20-+80 | ±0.1 | 2.5 | 1.5 | 0.9 | P0/P3/P4 可選 | H1/H5 可選 | 21-33 | 49×62×105 | 135 |
SC2500w | -20-+80 | ±0.1 | 2.5 | 1.5 | 0.9 | P0/P3/P4 可選 | H1/H5 可選 | 21-33 | 49×62×105 | 135 |
SC5000a | -20-+130 | ±0.1 | 5.0 | 2.5 | 1.2 | P0/P3/P4 可選 | H1/H5 可選 | 43-60 | 59×67×112 | 153 |
SC5000w | -20-+130 | ±0.1 | 5.0 | 2.5 | 1.2 | P0/P3/P4 可選 | H1/H5 可選 | 43-60 | 59×67×112 | 153 |
SC10000w | -20-+130 | ±0.1 | 10.0 | 5.0 | 2.5 | P0/P3/P4 可選 | H1/H5 可選 | 43-60 | 59×67×112 | 155 |