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產品簡介
MIRA通用分析型高分辨場發射掃描電鏡
詳細介紹
產品簡介
TESCAN MIRA是新推出的第四代高性能掃描電子顯微鏡，配置有高亮度肖特基場發射電子槍，在TESCAN的 Essence™ 操作軟件的同一個窗口中實現了SEM成像和實時元素分析。這種結合大大簡化了從樣品中獲取形貌和元素數據的過程，從而使得MIRA成為質量控制、失效分析和實驗室常規材料檢測的有效分析解決方案。
產品特點
- *集成的 TESCAN Essence™ EDS功能，可以快速、輕松地從成像切換到元素分析操作。
- *的實時電子束追蹤技術(In-flight Beam Tracing™)功能，可設置優化束斑尺寸和束流強度。
- *的大視野光路（Wide Field Optics™）設計，可實現小放大倍率低至2倍，因而無需額外的光學導航相機，即可輕松、精確的對樣品進行導航。
- 標配的 SingleVac™ 模式，不導電樣品或電子束敏感樣品無需噴鍍即可在此模式下直接進行觀察。
- 可選配的鏡筒內 SE 和 BSE 探測器，以及電子束減速技術，更好的提升了低電壓下的成像性能。
- 標準分析平臺，可選配集成多種類的探測器和附件。