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SEMICON精彩回顧|半導體濕制程工藝良率提升的利器
剛剛過去的SEMICON/ FPD China您參加了嗎？
據不完全統計，今年的SEMICON China 展覽面積達90,000平方米，1,100多家展商，4,200多個展位，20多場同期會議和活動。覆蓋芯片設計、制造、封測、設備、材料、光伏、顯示等全產業鏈攜手合作，規模較大、具有影響力的半導體專業展！
【展臺精彩回顧】
梅特勒托利多作為一家精密儀器制造商與服務商，今年也如期在SEMICON亮相，攜在線分析儀器（超純水、化學品分析）、稱重（平臺秤、稱重模塊）和實驗室解決方案（天平、水分儀等），和新老朋友們見面。
工業稱重
在線分析儀器
實驗室解決方案
展會現場，眾多業內同仁蒞臨梅特勒托利多展位，與現場的技術顧問進行了交流。
新升級的UPW Unicond® 電阻率傳感器
本屆SEMICON展覽中，梅特勒托利多帶來了今年5月發布的升級款專用于半導體超純水的高精度電阻率傳感器：UPW Unicond®
在半導體制造中，隨著工藝發展，對超純水和化學品中的雜質離子管控也越發嚴苛。高精度的電阻率傳感器可以對雜質離子進行快速準確的監測，從而助力提高半導體濕制程良率。
七十多年以來，梅特勒托利多的電阻率傳感器一直運用于半導體超純水的監測，也伴隨著客戶的工藝要求而進行升級。
升級版的傳感器精度不僅由原來的±1%提升到了±0.5%，更通過硬件設計和軟件優化共同作用，提升了穩定性和可靠性，更好地避免環境溫度和電子干擾帶來的不確定性。
為什么半導體制造離不開在線分析產品？
在半導體制造過程中，工藝過程中會用到大量的超純水和化學品，直接與產品接觸，因而這些液體或氣體是否達到標準將直接影響工藝的良率。
而在線分析產品的傳感器就相當于“眼睛”，及時監測液體或氣體的狀態；接著通過變送器，將“眼睛”所“觀測”到的信號進行處理后，及時傳輸到生產設備或者廠務系統；生產設備或者廠務系統獲取到的數據，對半導體制造來說，有許多重要的作用：
及時預警超標，避免不必要的損失
例如在浸沒式光刻的浸沒液中的TOC超標將影響光刻的質量。
優化工藝、提高良率
例如在晶圓清洗機中的pH，電導率，可確保清洗是否真正有效。
自動化配液、PID控制等
在廠務的中央供給系統中，根據濃度的變化，進行自動化的配液。
除電阻率傳感器以外，梅特勒托利多的在線分析產品的產品線豐富，還可以提供多種條件下pH、溶解氧、臭氧、濁度、硅、鈉、氯離子、電導率、濃度、微生物、總有機碳等參數的實時監測，可運用于清洗機、晶圓電鍍機等半導體生產設備，半導體廠務中央化學品、研磨液供給系統、純廢水系統、廢氣處理環節等。
新升級超純水電阻率
耐顆粒物、耐腐蝕的
pH傳感器系列
在線總有機碳分析儀
溶解氧傳感器