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電磁驅(qū)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)精度
由于電磁驅(qū)動(dòng)臺(tái)的驅(qū)動(dòng)是以磁場(chǎng)為介質(zhì)的，因此磁場(chǎng)的分析和設(shè)計(jì)是電磁微動(dòng)臺(tái)整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的前提。盡管目前學(xué)者已經(jīng)對(duì)磁場(chǎng)分析、電磁力計(jì)算等重要問題進(jìn)行了相關(guān)研究，但是還未形成一套完整的電磁微動(dòng)臺(tái)磁場(chǎng)分析和設(shè)計(jì)的理論。特別是對(duì)邊端效應(yīng)、局部飽和、推力波動(dòng)等影響定位性能的重要因素，以及如何實(shí)現(xiàn)長行程、大推力和高響應(yīng)等問題都值得深入研究。微動(dòng)臺(tái)的結(jié)構(gòu)是電磁驅(qū)動(dòng)單元和位置檢測(cè)單元安裝的主體，是微動(dòng)臺(tái)穩(wěn)定工作的基礎(chǔ)。現(xiàn)有的電磁微動(dòng)臺(tái)在設(shè)計(jì)上雖然也以質(zhì)量輕、結(jié)構(gòu)緊湊、工藝性好和便于控制等為設(shè)計(jì)準(zhǔn)則，但在如何保證質(zhì)心驅(qū)動(dòng)，散熱和減少磁力耦合等方面考慮不夠，因此鑒于上述方面設(shè)計(jì)更加合理和新穎的結(jié)構(gòu)是提高工作臺(tái)性能的重要途徑之一。電磁式微動(dòng)臺(tái)除了本身結(jié)構(gòu)之外，其定位精度和響應(yīng)速度，主要是靠控制系統(tǒng)來完成的。現(xiàn)今的電磁力的控制系統(tǒng)大多基于電流控制模式，在這種控制模式中忽略了線圈電感對(duì)電流變化的抑制作用，若線圈中電流的變化過于劇烈時(shí)，系統(tǒng)中實(shí)際電流與參考電流之間將出現(xiàn)較大誤差，影響定位精度。因此，為獲得高性能的電磁力控制系統(tǒng)，必須從電磁力的電壓方程出發(fā)建立更能準(zhǔn)確體現(xiàn)微動(dòng)臺(tái)電磁特性的數(shù)學(xué)模型，以設(shè)計(jì)電磁微動(dòng)臺(tái)的控制系統(tǒng)。除此之外，可充分借鑒其他的控制原理和方法，如矢量控制理論、推力脈動(dòng)抑制方法等。