表面掃描激光共焦位移計

LT-9000 系列

Z 軸掃描

0.3 μm 的出色分辨率實現高精度應用

0.3 μm 的出色分辨率實現高精度應用

高精度測量方式使用共焦原理和音叉

激光束穿過依靠音叉快速上下振動的物鏡聚集在目標表面。從目標表面反射的光束匯集在小孔處，隨后進入感光元件。通過測量光線進入感光元件時物鏡的確切位置，就可以確定目標高度。傳感器測量目標表面的距離，不受目標材質、顏色或角度的影響。

共軸光學系統改善了測量性能

因同軸方式實現了高性能檢測

沒有在目標表面形成焦點時

小部分接收光穿過小孔。

在目標表面形成焦點時

所有接收光都穿過小孔。

微小的物體

為自動化和傳感應用提供的性能。

引線接合檢查

引線接合高度

LT-9000系列表面掃描激光共焦位移計可用于找尋引線接合器調整不或故障造成的焊接不足。其顯示器屏幕可以顯示放大 85倍的圖像，因此可以輕松進行目標定位。它采用了世界創新性的高精度表面掃描方法，zui小光點直徑可達2μm，即使是細導線也能使用該方法實現可靠測量。

表面狀況檢查

金剛石刀具表面輪廓

LT-9000 系列表面掃描激光共焦位移計可用于檢查切割晶片的金剛石刀具表面狀況，并控制金剛石層表面的粗糙度。測量分辨率為 0.3 µm，測量結果則可參照顯示器屏幕上的輪廓波形得出。它采用了世界創新性的高精度表面掃描方法，可確保測量刀具表面的輪廓。

刻印深度檢查

測量塑料上的字符刻印深度

LT-9000 系列表面掃描激光共焦位移計可用于測量 IC 塑料模具上用于顯示批號或日期等由激光刻印機刻印的字符深度。操作員可以觀察顯示器上放大85 倍的圖像，并以 0.3µm的測量分辨率對目標進行測量。移動載物臺使其能測量刻印的深度和寬度。測量分辨率為0.3µm，測量結果則可參照顯示器屏幕上的輪廓波形得出。它采用了世界創新性的高精度表面掃描方法，可確保測量刀具表面的輪廓。

蝕刻深度檢查

測量晶片蝕刻深度

LT-9000 系列表面掃描激光共焦位移計可用于檢查在晶片上形成圖案的蝕刻的進度。以 0.3 µm 的分辨率獲得的測量數據可在顯示器屏幕上顯示為輪廓波形。蝕刻深度或表面輪廓都可以輕松測量得出。它采用了世界創新性的高精度表面掃描方法，即便是鏡面目標也能測量。

刻痕深度檢查

測量拉片的刻痕深度

LT- 9000 系列表面掃描激光共焦位移計可用于測量易拉罐上用于刻出拉環的凹槽輪廓。即使是用于反射度高的目標，也可保持測量的穩定性。操作員可以觀察顯示器上放大 85 倍的圖像，并以 0.3 µm 的測量分辨率對目標進行測量。移動載物臺使其能測量刻痕的深度和寬度。測量分辨率為 0.3 µm，測量結果則可參照顯示器屏幕上的輪廓波形得出。它采用了世界創新性的高精度表面掃描方法，可確保測量刀具表面的輪廓。

透明物體厚度測量

應用共焦原理，可以對透明物體表面條件和厚度進行穩定的測量。

 

可測量表面狀況、薄膜厚度及透明物 體厚度。此外，傾斜校正功能可使測 量更穩定。

輪廓測量

可使用振蕩器對表面輪廓進行準確跟蹤。

 

可采用雙掃描法進行表面輪廓測量 可測量兩點之間的高度差。

測量 PCB 上焊膏的輪廓

可測量無鉛焊錫的輪廓，以檢測裂痕、焊橋、未焊滿等異常。