超精密振動一位移測量儀是電容不接觸式%性精密測量儀器，它既是測振儀，又是電子測微計，直接讀取被測靜態位移值或振動幅值（單峰值），。
性能指標
量程/分辨率:±3.000μm/0.001μm、±30.00μm/0.01μm、±300.0μm/0.1μm
測量頻率范圍：0—7500HZ
線性度：≤±0.5%
輸出信號：0—±5.1V 0—18mA
零點漂移（開機預熱10分鐘后）：≤±0.25%FSO/h
量程、初始間隙δ0與傳感器電，直徑d0
測量圓柱面時，應將儀器示值乘以一修正系數K1，不同圓柱面直徑D的K1值
工作溫度：放大器－10℃－+60℃ 探頭－30℃－+200℃
電源：220V±10%  50HZ
體積：258mm×300mm×102mm
使用方法：
靜態位移測量
1.頻率校準
將傳感器的高頻插頭插入外接振蕩器的“輸入"插座，外接振蕩器的“輸出"與儀器后面板的“輸入"用兩頭帶有高頻插頭的電纜聯接起來，插好電源線，打開電源，儀器有數碼顯示，將8.2電，擰入傳感器頭部，并使之遠離物體，按下前面板按鍵“頻率較準"、“位移"，這時數顯有指示，預熱10分鐘，調節“調零"旋鈕，使顯示回到零點，如果偏向一邊，則調節“頻率較準"鈕，使顯示回到零點附近，調節“調零"旋鈕回到零點。
2.選用量程和測量電，，安裝傳感器
根據被測位移值（或振動幅值）可能變化的范圍，由表1查得相應的量程和電，直徑d0。如選用±30μm檔，直接按下30μm檔量程鍵，再將傳感器借助彈性夾套安裝到磁力表座（或用戶自制的，夾具）上，使測量電，的測量端面接近被測量物體表面，如果是平面或圓柱面，應盡可能平行，如果是球面，應可能對中。
3.調整初始間隙，開始測量
調整的初始間隙（參考值），調整時顯示為“+"位移值時，反時針轉動傳感器微調螺母，使測量間隙逐漸增大，反之順時針轉動，間隙減少，數值會逐漸接近零點。借助面板上的“調零"旋鈕細調，可使儀器，指零，測量即可開始，當被測表面接近傳感器，測量間隙小，表示被測尺寸增加，儀器示值為“+"位移值，反之為“—"位移值，選用其它兩種量程，只需要根據表1重新換用測量電，，切換量程和重新調整初始間隙。
4.與%儀表聯接
儀器設有“電壓輸出"插座，三種量程的滿量程電壓輸出信號都是±5.1V（線性區）電流18mA，電壓輸出可與%種高輸入阻抗儀表（計算機，示波器，頻率計，FFT頻譜分析儀等）聯接，以便對被測信號進行記錄、觀察和分析處理。
(三)、振動測量
儀器測量振動位移時，其方法基本同靜態位移測量相似，其中初始間隙的調整可在被測物體啟動前進行，也可在啟動后進行，振動測量時,“位移"示值是顯示被測物體啟動后的浮動位移，同靜態位移一樣，都是直流信號分量，與交流信號分量無關，“振幅"示值是被測振動信號的單振幅值（與直流信號分量無關），如果“位移"示值遠離零點，應轉動傳感器微調螺母，使輸出回到零點附近，以，振動測量有滿量程的線性工作范圍。
2.儀器輸出電壓與外接儀表定標，確定被測振動位移值
儀器輸出電壓接到%儀表上，%儀表使用直流DC輸入，在“頻率校準"狀態下，調整“頻率校準"鈕在滿量程范圍內給出兩個不同的示值（如零與正滿度值，即為3μm或30μm或300μm），看其在外接%儀表中相應的偏離格數，由此確定其間的定量關系，振動測量時，根據所選量程，儀器輸出電壓在%儀表中所對應的格數，通過以上定標所確定的定量關系，確定出被測物體振動的位移值。
（四）注意事項：
1.儀器屬精密測量儀器，固定傳感器支架要有剛性，傳感器調整好，讓其穩定一段時間，消除支架的機械蠕變再開始測量。
2.被測量金屬物體要接地。
3.測量過程中盡量不要挪動傳感器的聯接電纜線，使電纜線自然放置。
配套部件：
超精密振動—位移測量儀                           一臺
外接振蕩器                                       一只
傳感器（包括彈性夾套、塑料保護套、φ2.9 、φ8.2、
φ26電容，板%一枚）                             一套
220V交流電源線                                   一根
輸出測量線                                       一根
外接振蕩器與儀器本體聯接線                       一根
接地線                                           一根
手提箱                                           一只