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SC100-SE勻膠機是SmartCoater100系列勻膠機的一種基本型號。SmartCoater100系列勻膠機還包括：分體式、嵌入式、型等。
SC100勻膠機被設計為涂膠處理小碎片至8英寸圓晶尺寸底物，使用工業級長壽命馬達和控制器，我們勻膠機設定標準為高可靠性、高重復性和高精度。
應用范圍：
※ 勻膠處理
※ 顯影處理
※ 清洗和干燥
產品簡介
詳細介紹
北京泰諾鑫源科技有限公司（http://www.tenoyo。。ｃｏｍ）專業生產銷售實驗儀器設備。EasyCoater和SmartCoater系列勻膠機、烤膠機、提拉鍍膜機、電解雙噴減薄儀、低溫恒溫設備等實驗室設備，公司技術力量雄厚、工藝裝備*、制造經驗豐富、產品質量可靠、售后服務周到，在信譽上深受用戶信賴。
SC100-SE勻膠機SmartCoater100系列高精密勻膠機主要性能指標：
主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）
旋涂程序：zui多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒
轉動速度：0-10,000rpm（更高速可選）
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm
轉速調節精度<1rpm，重復性< 1rpm
工藝時間設定： 0-3,000 sec/step，時間設置精度：0.1sec
支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）
旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）
SC100-SE勻膠機SmartCoater100系列高精密勻膠機 產品特性優點：
的內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。
7"觸屏控制面板操作系統，更方便操作。
on ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。
標準配置轉速10000rpm，并可根據用戶需要進行定制。
采用工業級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。
排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。
透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。
SC100-SE勻膠機SmartCoater100系列高精密勻膠機產品外型尺寸：
433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設備結構
306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結構
使用客戶：中科院半導體所南京大學上海理工大學南京郵電大學中科院物理所中國科學技術大學北京航天九院清華大學易美芯光（北京）科技有限公司等。
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北京泰諾鑫源科技有限公司（http://www.tenoyo。。ｃｏｍ/）主要產品EasyCoater和SmartCoater系列勻膠機、烤膠機、提拉鍍膜機、電解雙噴減薄儀、低溫恒溫設備等。隨著生命科學行業的蓬勃發展，諾源儀器也將迎來新的機遇和挑戰，我們將一如既往地向著目標努力：致力于成為*的實驗室集成供應商。我司歡迎您的。
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