成人做爰免费视频免费看_成人a级高清视频在线观看,成人a大片在线观看,成人a大片高清在线观看,成人av在线播放,一a一级片,一级黄 中国色 片,一级黄 色蝶 片,一级黄色 片生活片

| 注冊| 產品展廳| 收藏該商鋪

行業產品

當前位置:
江蘇澤源生物科技有限公司>>技術文章>>光刻膠的主要技術參數及其分類

光刻膠的主要技術參數及其分類

閱讀:11790        發布時間:2017-7-27

光刻膠的主要技術參數及分類

光刻膠的主要技術參數

分辨率(resolution):是指光刻膠可再現圖形的zui小尺寸。一般用關鍵尺寸來(CD,Critical Dimension)衡量分辨率。

對比度(Contrast):指光刻膠從曝光區到非曝光區過渡的陡度。

敏感度(Sensitivity):光刻膠上產生一個良好的圖形所需一定波長光的zui小能量值(或zui小曝光量)。單位:毫焦/平方厘米mJ/cm2。

粘滯性/黏度 (Viscosity):衡量光刻膠流動特性的參數。光刻膠中的溶劑揮發會使粘滯性增加。

粘附性(Adherence):是指光刻膠與晶圓之間的粘著強度。

抗蝕性(Anti-etching):光刻膠黏膜必須保持它的粘附性,并在后續的濕刻和干刻中保護襯體表面,這種性質被稱為抗蝕性。

表面張力(Surface Tension):液體中將表面分子拉向液體主體內的分子間的吸引力。   

 

光刻膠的分類

1.根據光刻膠按照如何響應紫外光的特性可以分為兩類

正膠(Positive Photo Resist):曝光前對顯影液不可溶,而曝光后變成了可溶的,能得到與掩模板遮光區相同的圖形。

負膠(Negative Photo Resist):反之。

正膠

優點

分辨率高、對比度好

缺點

粘附性差、抗刻蝕能力差、高成本

靈敏度

曝光區域光刻膠*溶解時所需的能量

負膠

優點

良好的粘附能力和抗刻蝕能力、感光速度快

缺點

顯影時發生變形和膨脹,導致其分辨率

靈敏度

保留曝光區域光刻膠原始厚度的50%所需的能量

 

2.  根據光刻膠能形成圖形的zui小光刻尺寸來分:

傳統光刻膠(正膠和負膠)

      適用于紫外光(UV),I線365nm、H線405nm和G線436nm,關鍵尺寸在0.35um及其以上。

化學放大光刻膠(CAR,Chemical Amplified Resist)

      適用于深紫外光(DUV),KrF 準分子激光248nm和 ArF準分子激光193nm。

收藏該商鋪

登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~
二維碼 意見反饋
在線留言
主站蜘蛛池模板: a级全黄试频试看30分钟| 亚洲欧美精品无码一区二在线| 亚洲天堂色图片| 日本A级A做爰片免费观看| 欧美激情,亚洲激情| 亚洲 欧美 日韩一区| 美女奶头裸体18禁黄WWW视频| 国产精品久线观看视频| 久久99蜜桃精品久久久久小说| 亚洲免费人妻视频诱惑| 久久91精品国产91久久户| 国产成人精品一区二区三区视频| 91福利网站在线观看| 99精品国产在热久久| 久久国产视频网| 麻豆视传媒短免费网站| 91在线视频观看国产| 久久久国产精品va麻豆| 国语对白亚洲精品| 神马影院手机| 国产精品 亚洲精品| 爆乳啪啪无码成人二区亚洲欧美| 一个色综合亚洲色综合| 亚洲欧美在线网站| 国产精品福利影视| 亚洲一区AV在线观看无码漫画| 欧美一区二区三区粗大爽| 日韩黄色免费| 亚洲中文字幕免费av| 色情韩国电影在线线看| 亚洲欧美激情精品一区二区| 久久亚洲精品少妇| 日韩精品一区二区三区| 久久AV无码精品人妻系列试探| 国产无码不卡黑人在线观看| 日韩动漫免费在线观看| 黑料社区| 久久精品中文騷妇女内射| 日韩欧美在线观看网站| 亚洲字幕av一区| 色撸在线视频|