電感耦合等離子體發射光譜儀主要由進樣系統、激發光源、分光系統、檢測器、控制與數據處理系統五部分組成。

　　由于進行是精密計算，儀器必須在維護保養方面下功夫。

　　1  環境

　　儀器要求一般室溫維持在 20～25 攝氏度之間的一個固定溫度，溫度變化應小于±1 攝氏度。室內濕度應小于 70%，好控制在 45%~60%之間，并配有空氣凈化裝置。

　　2  供電線路

　　為了保證ICP 儀的安全運行，供電線路必須要有足夠大的容量，否則儀器運行時線路的電壓將過大，影響儀器壽命。

　　3  防塵

　　實驗室內需要采用排風機，排除儀器的熱量及工作時產生的有毒氣 體時，實驗室與外部就形成壓力差， 實驗室產生負壓，室外含有大量灰塵的空氣從門窗的縫隙中流入室內，大量積聚在儀器的各個部位上，容易造成高壓組件或接頭打火，電路板及接線、插座等短路、漏電等各種各樣的故障，因此，需要經常進行除塵。特別是計算機、電子控制電路、高頻發生器、顯示器、打印機、磁盤驅動器等，定期拆卸或打開， 用小毛刷清掃，并同時使用吸塵器將各個部分的積塵吸除。對光電倍增管負高壓電源線、及計算機顯示器的高壓線及接頭，還要用紗布沾上少許*小心的抹除積炭和灰塵。磁盤驅動器及打印機清出灰塵之后，要在機械活動部件滴加少許儀表油。打印機的打印頭還要拆下，用軟毛刷刷掃，并用絨布抹凈，防止針孔被紙屑堵塞，然后按照說明書調整一定的打印壓力。對于儀器除塵，一般由電子，儀修或計算機的專業人員幫助，儀器使用或管理人員如不懂電子知識，不了解儀器結構，不要輕易觸動，以免發生意外，除塵應事先停機并關掉供電電源后再進行。

　　4  霧化器的維護

　　霧化器是進樣系統中脆弱，關鍵的部份，需要很好的維護和使用。要定期的清理，特別是測定高鹽溶液之后，霧化器的頂部，炬管噴嘴會積有鹽份，造成氣溶膠通道不暢，常常反映出來的是測定強度下降，儀器反射功率升高等。炬管上積塵或積炭都會影響點燃等離子體焰炬和保持穩定，也影響反射功率，因此，要定期用酸洗，水洗，后，用無水乙醇潤洗并吹干，并保持進樣系統及炬管的清潔。

　　5  使用中盡量減少開停機的次數

　　開機測定前，必須做好安排，事先做好各項準備工作，切忌在同一段時間里頻繁開啟，儀器頻繁開啟容易造成損壞，這是因為儀器在每次開啟的時候，瞬時電流大大高于運行正常時的電流，瞬時的脈沖沖擊，容易造成功率管、真空電容以及其他芯片的損傷。