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冷卻水循環(huán)系統(tǒng)的工業(yè)應(yīng)用

閱讀:1492        發(fā)布時(shí)間:2019-12-20
  工業(yè)應(yīng)用
 
  對(duì)半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部分的冷卻:
 
  單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機(jī)、自動(dòng)夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機(jī)、包裝機(jī)、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。
 
  對(duì)激光裝置發(fā)熱部分的冷卻:
 
  激光加工、熔接機(jī)的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機(jī)等。
 
  其他產(chǎn)業(yè)用機(jī)器發(fā)熱部分的冷卻:
 
  等離子熔接、自動(dòng)包裝機(jī)、模具冷卻、洗凈機(jī)械、鍍金槽、精密研磨機(jī)、射出成型機(jī)、樹脂成型機(jī)的成型部分等。
 
  分析檢測(cè)機(jī)器的發(fā)熱部分的冷卻:
 
  電子顯微鏡的光源、ICP發(fā)光分光分析裝置的光源部分、分光光度計(jì)的發(fā)熱部分、X線解析裝置的熱源、自動(dòng)脈沖條幅器的發(fā)熱部分、原子吸光光度計(jì)的光源等。
 
  數(shù)控機(jī)床、加工中心冷卻介質(zhì)的降溫。

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