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Diener 等離子表面處理儀 FEMTO
· 低壓等離子系統，用于不同材料表面的處理
· 配置自動/手動模式，實現控制高機能
· 經濟型等離子清洗機，小型腔體
· 適合于研究院、高校、研發中心使用
· 操作簡單易使用
型號 | FEMTO | FEMTO PCCE | |||
控制系統 | 手動控制 | PCCE 控制系統 | |||
工藝氣路 | 雙路或三路氣體 | ||||
工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蝕性氣體或者CF4 、SF6等腐蝕性氣體 | ||||
單體導入 | H2O，親疏水涂層等單體（選配） | ||||
流量計 | 針閥流量計（防腐蝕） | MFC流量計（防腐蝕） | |||
真空 腔體 | 材質 | 高硼硅玻璃/石英 蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗 | 不銹鋼 蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗 | 鋁合金 鉸鏈門帶觀察窗 | |
圓形腔體內尺寸(Φ×D)mm | 95×280( 600) | 100×278( 600) | — | ||
方形腔體 內尺寸 （W×D×H）mm | — | 103×285( 600)×103 mm | 110×300( 600) ×120 | ||
容積 | 2 L~4.2L | 2.2L~6.4L | 4L~8L | ||
電極 | 360度外置環繞電極 | 平行平板電極 | |||
發生器* | 40KHz 0~100 W 100KHz 0-500W 13.56MHz 0~50 W 或者0~300 W 2.45GHz 0-300W | ||||
真空壓力計 | 指針式壓力計 | 皮拉尼數字式壓力計 | |||
計時器 | 模擬數字式 | 數字式 | |||
托盤 | 高硼硅玻璃/石英，不銹鋼 | ||||
外形尺寸（WXDxH）mm | 310-560x420-600x330-860mm | ||||
電源 | AC220V 50Hz 10A | ||||
真空泵 | 排氣速度不小于4m3/H | ||||
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