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納米壓痕儀的主要應(yīng)用和特點(diǎn)

閱讀:2819      發(fā)布時(shí)間:2021-7-2
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 納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試,測試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計(jì)算得出,無需通過顯微鏡觀察壓痕面積 .
 
主要應(yīng)用
半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads);存儲材料(磁盤的保護(hù)層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護(hù)層);光學(xué)組件(接觸鏡頭、光纖、光學(xué)刮擦保護(hù)層);金屬蒸鍍層;防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具);藥理學(xué)(藥片、植入材料、生物組織);工程學(xué)(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業(yè)。
 
技術(shù)特點(diǎn)
1、*符合ISO14577、ASTME2546;
2、光學(xué)顯微鏡自動(dòng)觀察;
3、*的熱漂移控制技術(shù);
4、可硬度、剛度、彈性模量、斷裂剛度、失效點(diǎn)、應(yīng)力-應(yīng)變、蠕變性能等力學(xué)數(shù)據(jù);
5、適時(shí)測量載荷大小;
6、采用獨(dú)立的載荷加載系統(tǒng)與高分辨率的電容深度傳感器;
7、快速的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的載荷反饋系統(tǒng);
8、雙標(biāo)準(zhǔn)校正:熔融石英與藍(lán)寶石 。
 

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