純水指的是不含雜質的H2O。從學術角度講，純水又名高純水，是指化學純度高的水，其主要應用在生物、 化學化工、冶金、宇航、電力等領域。因其對水質純度要求相當高，所以一般應用普遍的還是電子工業。水中鹽類（主要是溶于水的強電解質）除去或降低到一定程度的凈水。（1.0-10.0μS/cm，電阻率（25℃）0.1-1.0×106cm含鹽量為1-5mg/L）
超純水（Ultrapure water）又稱UP水，是指電阻率達到18 MΩ*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。可以用于超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術的制備過程。
-- 典型純水、超純水的工藝流程 --
以上工藝流程進階越多，則水的純化度越高。慧聰源針對純水與超純水工程的開展，均可根據用戶的實際需求（URS）來定制。
-- 純水與超純水工程常用設備 --
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