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CV-3000CNC / CV-4000CNC
218 系列 — CNC 輪廓測量系統
218系列超級輪廓測量儀的技術參數
X1 軸
測量范圍: 200mm
分辨率: 0.05μm
檢測方法: 反射型線性編碼器
驅動速度: 200mm/s (zui大 CNC)
0 - 60mm/s (操縱桿)
測量速度: 0.02 - 2mm/s
測量方向: 向前／向后
直線度: 2μm / 200mm
* 以X1 軸為水平方向上
指示精度 (20ºC 時): ±(1+4L/200)μm (CV-3000CNC),
±(0.8+4L/200)μm (CV-4000CNC)
* L = 驅動長度 (mm)
a 軸
傾斜角度: -45º (CCW) - +10º (CW)
分辨率: 0.000225º
傾斜范圍: 1rmp
Z2 軸 (立柱)
垂直移動: 300mm 或 500mm
分辨率: 0.05μm
檢測方法: 反射型線性編碼器
驅動速度: 200mm/s (zui大 CNC)
0 - 60mm/s (操縱桿)
基座尺寸 (W x H): 750 x 600mm
基座材料: 花崗巖
Z1 軸 (檢出器)
測量范圍: ±25mm
分辨率: 0.2μm (CV-3000CNC),
0.05μm (CV-4000CNC)
檢測方法: 線性編碼器 (CV-3000CNC)
激光全息光柵尺 (CV-4000CNC)
指示精度: ± (2+I4HI/100)μm (CV-3000CNC)
(20ºC 時) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (CV-4000CNC)
*H 為水平位置上的測量高度 (mm)
測針上／下運作 : 弧形運動
測針方向: 向上／向下
測力: 30mN
跟蹤角度: 向上: 70º, 向下: 70º
(根據表面粗糙度，使用標準單切面測針)
測針針尖: 25μm, 硬質合金針尖
Y 軸
測量范圍 : 200mm
分辨率 : 0.05μm
驅動速度: zui大200mm/s (CNC 模式)
0~60mm/s (操縱桿控制模式)
臺面zui大承重 : 20kg
直線度 : 2μm/200mm
指示精度 (20ºC): ±(2+2L/100)μm
L = 任意兩點間的長度 (mm)
重量: 240kg, 250kg (高立柱型)
(Y 軸工作臺與振動隔離站的重量除外)
電源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 500W (*主機)
218系列超級輪廓測量儀的性能參數
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