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儀器特點
超精密全自動測量，四軸CNC控制。
精密花崗巖機臺，精度高、穩定性好。
三軸THK精密線性滑軌、精密傳動系統。
Renishaw開放式光柵尺，精度高、穩定性好。
自動變倍光學鏡頭，可實現自動變倍測量。
可程控6環8區環形表面光源，LED輪廓光源，同軸光源。
自動對焦測高，可加裝接觸式測頭。
提供多種行程規格配置，如222/322/432/542等
支持選配可程控升降和調整角度的表面光系統，分外3環和內3環獨立控制，提高原68光源的打光性能。并且支持擴展外置光源。
技術參數
型號 | VMU222 | VMU322 | VMU432 | VMU542 | |
行程(mm) | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 | |
外部尺寸(mm) | 1040×740×1620 | 1040×740×1620 | 1240×800×1620 | 1440×1000×1680 | |
重量(kg) | 240 | 250 | 310 | 400 | |
承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 | |
測量精度 | XY軸* | E2=(1.5+L/300)μm | E2=(1.9+L/300)μm | ||
Z軸** | E1=(5.0+L/200)μm | ||||
速度 | XY軸 | 200mm/S | |||
Z軸 | 100mm/S | ||||
光柵尺 | 0.1μm Renishaw光柵尺 | ||||
導軌 | THK | ||||
圖像傳感器 | 高清晰彩色工業攝像機 | ||||
光源*** | 輪廓光 | LED冷光源，256級亮度可調 | |||
表面光 | 6環8區LED冷光源，各段獨立操控，256級亮度可調 | ||||
光學鏡頭 | 12.5:1連續變倍 | ||||
放大倍率**** | 光學放大倍率：0.6～7.5×；影像放大倍率：18～230× | ||||
軟件 | Vispec測量軟件（VMU版） | ||||
運動控制 | 自主的CNC直流伺服系統 | ||||
保修期 | 1年 | ||||
工作環境 | 溫度20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80% | ||||
振動<0.002g，低于15Hz | |||||
電源 | 220V/50Hz/10A | ||||
* L表示測量長度，以毫米為單位。
** Z軸可加高至300mm（222行程除外）。
*** 同軸光可選配，技術參數同輪廓光。
*** 放大倍率為近似值，具體指與顯示器的尺寸以及顯示器的分辨率相關；客戶可根據需求選配0.5×或2×附加鏡，實現影像放大倍率9～115×或36～460×。
應用行業
機械、電子、模具、注塑、五金、橡膠、低壓電器，磁性材料、精密五金、精密沖壓、接插件、連接器、端子、手機、家電、計算機（電腦）、液晶電視(LCD)、印刷電路板（線路板、PCB）、汽車、醫療器械、鐘表、儀器儀表等。
測量對象
LCD、FPC、PCB、線路板、螺絲、彈簧、鐘表、手表、儀表、接插件（連接器、接線端子）、齒輪、凸輪、螺紋、半徑樣板、螺紋樣板、電線電纜、刀具、軸承、五金件、沖壓件、篩網、試驗篩、水泥篩、網板（鋼網、SMT模板）等。
測量元素
長度、寬度、高度、孔距、間距、Pin間距、厚度、圓弧、直徑、半徑、槽、角度、R角等。
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