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技術文章

EZ6高精密勻膠機

閱讀:3067          發布時間:2018-4-19

產品介紹:

名     稱:高精密勻膠機

型     號:EZ6

原產地:美國,USA

應   用:在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。

產品概述:

  EasyCoater 6勻膠機被設計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物,使用工業級直流馬達和PLC控制,5寸全彩觸屏人機界面操作,簡單易用。EZ6勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備,納米薄膜研究等相關領域。
  EZ6勻膠機設計標準為結構緊湊、簡單易用,程控操作,且能夠升級自動點膠功能,尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內進出,具有優異的性價比。亦可提供分體式設計,進行嵌入式安裝,與手套箱進行配合。

性能參數:

l  支持wafer尺寸:1cm-150mm(6"圓晶)

l  速度可調范圍:100-10000rpm

l  加速度可調范圍:100-30000rpm/s

l  轉速分辨率:1rpm

l  轉速精度:<±5rpm

l  可編程10組10步程序

l  寬電壓輸入:AC100-230V

產品特點:

l  100W 直流無刷電機,PLC 控制

l  5”全彩觸摸屏

l  系統中英文可選

l  帶一只自動點膠端口,可升級自動點膠功能

l  HDPE 內腔,SUS 外殼,耐溶劑PC 透明蓋

l  真空互鎖及蓋子開關互鎖安全功能

產品外型尺寸:

    358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)

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