2022/09/13
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四探針測試儀
1. 四探針組合雙電測量方法
2. 液晶顯示，自動測量，自動量程，自動系數補償.
3. 集成電路系統、恒流輸出.
4. 選配：PC軟件進行數據管理和處理.
5. 提供中文或英文兩種語言操作界面選擇
參照標準：
1.硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）.
2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
雙電組合測試方法：
利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數據進行雙電測分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響，適用于斜置式四探針對于微區的測試。
