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上海添時科學(xué)儀器有限公司

PRODUCT DISPLAY

當前位置:上海添時科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積>>高真空CVD系統(tǒng)>> GSL-1700X-HVC1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號:GSL-1700X-HVC

品       牌:合肥科晶

廠商性質(zhì):代理商

所  在  地:上海市

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更新時間:2025-03-13 12:36:28瀏覽次數(shù):3001次

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產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
儀器種類 管式爐 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合
GSL-1700X-HVC是一款CE認證的二通道高真空CVD系統(tǒng),它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組度可達1600℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導(dǎo)

殼體       

 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命     

 · 保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失 

· 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動架上,方便移動.儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭,閥門,高真空機組

爐管

 · 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管 

· 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上

 · (標配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L 

(選配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1000mm L

功率

 6KW工作電壓  AC 208-240V單相, 50/60Hz 

加熱元件 

8 根1800°C grade MoSi2 heating element 

工作溫度

 · 最高工作溫度.: 1650°C(<2h) 連續(xù)工作溫度.: 1600°C

升溫速率

 ≤5°C/min 

加熱區(qū)長度 

加熱區(qū)長度: 457 mm (18") 

溫控系統(tǒng)

 · 采用PID方式自動控制,并可設(shè)置30段升降溫程序

 · 控溫精度: ±1°C                   

 · 熱電偶: B 型,已經(jīng)安裝在爐內(nèi) 

真空法蘭 

· 一對不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝

 · 法蘭上帶有一機械壓力表

 · 兩個精密針閥 

· 一個KF-25連接器 和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口一個1/4"卡套接頭

 外形尺寸

 550 x 380 x 520mm

功率        

100~110W 

工作電壓 

AC 208-240V單相, 50/60Hz 

外形尺寸

 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

高真空機組殼體

 · 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm 

· 最大承載量:       600 Lbs on top 

· 分子泵控制面板:   LCD 數(shù)字顯示內(nèi)裝有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany: 

控制面板

 · 一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動(隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后,啟動)  

· 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率:根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率   

抽氣速率

 · N2     33 L/s·  He     39 L/s   (2340L/minute)H2   32 L/s

工作范圍 

 1000 mbar to <1E-7 mbar 

極限 

<1E-8 mbar (without any leaking )

質(zhì)量流量控制器殼體

 · 采用 316不銹鋼制作                                                    

 · 混氣箱尺寸: Φ80X120mm   

· 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mmMFC控制面板 (Click to enlarge),可根據(jù)客戶要求定制

功率 

18W 

工作電壓

 AC 208-240V, 單相, 50/60Hz


質(zhì)保期 

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

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