超純水系統是指系統從原水至超純水完整產生的生產系統。 一般超純水系統是經由多重過濾，離子交換，除氣，逆滲透，紫外線，超濾，納米率，離子吸附過濾所產生的超純水。
該系統的技術是將電滲析技術和離子交換技術相融合，通過陰、陽離子交換膜對陰、陽離子的選擇性透過作用與離子交換樹脂對離子的交換作用，在直流電場的作用下實現離子的定向遷移，從而完成水的深度除鹽，同時水電離解產生的氫離子和氫氧根離子對離子交換樹脂進行再生，因此不需酸堿化學再生而能連續制取超純水。
超純水系統的工藝流程：
1、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象 （≥18MΩ.CM）（傳統工藝）。
2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥18MΩ.CM）（新工藝）。
3、預處理→一級反滲透→加藥機（PH調節）→中間水箱→第二級反滲透（正電荷反滲膜）→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥17MΩ.CM）（新工藝）。
4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥15MΩ.CM）（新工藝）。
5、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象 （≥15MΩ.CM）（傳統工藝）以上工藝各有各的優勢，你可以根據你自身的情況選購適合你的工藝。隨著科學的發展，很多新的工藝已經替代了舊的。
操作條件：
1、操作人員必須經過專業的培訓；
2、設備、儀器、儀表等應檢查合格并已及時排除故障；
3、在運行前確認控制盤上的開關在正確位置；
4、設備的手動閥應在正確位置；
5、注意化學加藥必須符合操作要求；
6、排水溝排水通暢；
7、控制電源：220V±10%，動力電源：380V±10%；
8、水箱氮封用高純氮氣：3-5bar，約30Nm3
9、儀表用壓縮空氣：3-5bar，約150NM3/H。
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