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半導體器件進行電性能測試的重要設備--探針臺
探針臺是一種用于對半導體器件進行電性能測試的重要設備。以下是關于探針臺的詳細介紹：
1. 工作原理：
- 探針臺基于電子在材料中的散射現象工作。它由一對探針組成，一個探針充當電子源，通過發射出電子，以恒定電流產生電子束；另一個探針用于接收并測量當電子束與材料相互作用后被散射的電子。通過對散射電子的測量，可以了解材料的電子性質，如導電性能、帶結構等。并且在不同位置進行測量可創建材料的電子映像，獲得整個材料的電子性質分布圖像，進而了解材料的表面形貌、晶格結構等。
2. 構成部分：
- 載物臺：用于承載和固定待測的半導體芯片、晶圓片或其他微電子器件，保證在測試過程中樣品的穩定性。
- 光學元件：通常包括顯微鏡等光學設備，用于觀察和對準樣品與探針，以便精確地將探針接觸到待測器件的特定位置。
- 卡盤：用于固定晶圓或芯片，確保其在測試過程中不會移動或晃動，卡盤的精度和穩定性對測試結果有重要影響。
- 探針卡：上面安裝有多個探針，探針的材質和形狀根據不同的測試需求選擇，探針卡與待測器件上的焊點或電極接觸，實現電信號的傳輸。
- 探針夾具及電纜組件：用于固定探針并連接到測試儀器，將探針采集到的電信號傳輸到測試設備進行分析和處理。
- 操縱器：可以精確地控制探針的移動和定位，以實現與待測器件的準確接觸。
3. 分類：
- 按操作方式分：
- 手動探針臺：晶圓載物臺、顯微鏡以及定位器等都是由使用者手動移動。操作簡單、價格低，適合待測器件少或數據收集不多的情況，常用于研發階段。
- 半自動探針臺：具備一定的自動化功能，但仍需要人工參與部分操作，例如在探針與樣品的對準過程中可能需要人工輔助調整。相比手動探針臺，測試效率有所提高。
- 全自動探針臺：添加了晶圓材料處理、搬運單元和模式識別（自動對準）等功能，能夠自動完成晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。速度快、精準穩定，可24小時連續工作，主要用于芯片量產測試或有特殊要求的測試場景。
- 按功能分：
- 常溫探針臺：在常溫環境下進行測試，適用于對溫度變化不敏感的器件測試。
- 高溫探針臺：可在較高溫度下進行測試，用于研究器件在高溫條件下的性能和可靠性，例如一些高溫工作的電子元件或需要在高溫環境下進行老化測試的器件。
- 高低溫探針臺：能夠在不同的溫度條件下進行測試，溫度范圍通常覆蓋較廣，可以根據測試需求設定不同的溫度點，對于研究器件在不同溫度下的性能變化非常有用。
- 霍爾效應探針臺：專門用于測量半導體材料的霍爾效應，通過測量霍爾電壓等參數來分析材料的電學性質，如載流子濃度、遷移率等。
- 表面電阻率探針臺：用于測量材料的表面電阻率，對于研究材料的導電性能和表面特性具有重要意義。
4. 應用領域：廣泛應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。具體包括芯片的研發、生產過程中的質量檢測、封裝后的性能測試等環節，對于保證半導體器件的質量和性能具有關鍵作用。
北京華測試驗儀器有限公司專業研發生產不同規格型號探針臺。