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北京中慧天誠科技有限公司

微波光電導載流子復合壽命測試儀

時間:2020-10-10閱讀:438
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本儀器配置數字存儲示波器,軟件依照壽命測量基本原理編寫,采用了標準(MF28 及MF1535)中推薦的幾種讀數方法。

數字示波器具有存儲功能,應用平均采樣方式,平均次數可選4、16、32、64、128、256 次,隨平均次數的增加隨機噪聲被減小,波形穩定、清晰。

微波光電導載流子復合壽命測試儀是參照半導體設備和材料組織SEMI 標準MF1535-0707 及標準GB/T 26068-2010設計制造。本設備采用微波反射接觸光電導衰退測量方法,適用于厚度為1mm 以下的硅片、電池片少數載流子壽命的測量,提供接觸、損傷、數字顯示的快速測量。壽命測量可靈敏地反映半導體重金屬污染及缺陷存在的情況,是半導體的重要檢測項目。

指標:

壽命測量范圍:0.25μs~10ms;

電阻率下限:≥0.5Ω·cm,尚未發現電阻率測量上限。

型號:N 型或P 型單晶或鑄造多晶。

紅外光源波長:0.904~0.905μm;

外形尺寸:365×415×160mm

產品重量:13Kg

工作電源:~220V 50Hz

功耗范圍:≤40W

基本配置:

100B壽命儀主機1臺

數字示波器1臺

信號線1條

校核片1片

156*156開方硅錠測試臺1套

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