化工儀器網(wǎng)
產(chǎn)品簡介
Q-545 Q?Motion®精密線性平臺
壓電電機(jī)可實現(xiàn)高力和小巧設(shè)計
寬度僅為45毫米
推/拉力為7牛
帶位置分辨率的增量傳感器
不帶接裝板的XY組合可供選擇
真空兼容至10-6百帕
壓電電機(jī)可實現(xiàn)高力和小巧設(shè)計
寬度僅為45毫米
推/拉力為7牛
帶位置分辨率的增量傳感器
不帶接裝板的XY組合可供選擇
真空兼容至10-6百帕
詳細(xì)介紹
壓電慣性驅(qū)動器
壓電陶瓷慣性驅(qū)動器為空間節(jié)約型且價格實惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動器，其保持力相對較大，行程幾乎是無限的。慣性驅(qū)動原理是基于由特殊驅(qū)動器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個壓電促動器。促動器緩慢膨脹，移動轉(zhuǎn)子。由于其慣性，轉(zhuǎn)子無法跟上促動器隨后的快速收縮，停留在其位置上。工作頻率高達(dá)20千赫茲時，驅(qū)動直接作用在動輪上，實現(xiàn)大為6毫米/秒的速度。
真空和無磁性環(huán)境
所有Q?Motion®線性平臺都適用于高真空中的操作，真空可達(dá)10-6 百帕。可按需提供無磁性版本。
直接測量原理
線性平臺配備非接觸式測量光學(xué)線性編碼器和參考點開關(guān)。分辨率為1納米。
應(yīng)用領(lǐng)域
微裝配, 光子, 光學(xué)對準(zhǔn), 顯微鏡, 高能束線設(shè)備, 半導(dǎo)體技術(shù), 測試