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高精度納米位移定位臺
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  • 高精度納米位移定位臺

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貨物所在地: 北京北京市
地: 德國
更新時間: 2025-07-22 10:36:21
期: 2025年7月22日--2026年1月19日
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產品簡介

高精度納米位移定位臺
§ 速度達20毫米/秒
§ 超長使用壽命
§ 可提供真空兼容版本

詳細介紹

高精度納米位移定位臺

 德國PI六足精密納米位移臺

    德國Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年,一直致力于微米與納米定位技術的研發與制造。PI代表著技術性能,定位精度可達納米。PI可獲得的組件獨立于市場上,并提供超越現有技術水平的單獨解決方案。高度的靈活性為PI的客戶提供了顯著的競爭優勢。 Physik Instrumente提供了超越競爭的技術范圍和垂直生產范圍。然而,PI重要的關注是通過定位解決方案不斷地激勵客戶。今天,無論是在計量、顯微,生命科技,還是激光技術,精密加工技術;無論是半導體科技,數據存儲技術,還是光電子/光纖,天文等領域,PI的產品和技術正得到越來越廣泛的應用,也贏得了越來越廣泛的贊譽。 Physik Instrumente (PI)主要產品: 線性平臺和執行器 電動旋轉平臺和測角器 XY平臺 六足/平行運動 XYZ掃描儀 Z-/傾斜平臺,提示/傾斜鏡和有源光學 陶瓷部件 壓電陶瓷組件 壓電陶瓷執行器 控制器和驅動器 空氣軸承導向系統 主要型號: E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

 

參考級六軸定位系統:高精度納米位移定位臺

六自由度并聯運動設計使其比串聯運動系統更加緊湊、更具剛性,動態范圍更大,無移動電纜:更穩定、摩擦更小真空兼容型可達10-6百帕

 

無刷直流電機(BLDC)

無刷直流電機尤其適合高旋轉速度。能夠對其進行控制并確保高精度。由于無滑動接觸,可無磨損地平穩運行, 因此能夠實現較長的使用壽命。

 

應用領域

科研和工業,標準和真空環境。用于微制造、醫藥技術、刀具檢查。

 

規格

動和定位

H-811.I2 / .I2V**

單位

公差

動軸

XYZθXθYθZ

  

XY向上的行程*

±17, ±16

毫米

 

Z向上的行程*

±6.5

毫米

 

θXθY向上的行程*

±10, ±10

°

 

θZ向上的行程*

±21

°

 

動器設計分辨率

5

納米

 

XY向上的小位移

0.2

微米

典型

Z向上的小位移

0.08

微米

典型

θXθY向上的小位移

2.5

微弧度

典型

θZ向上的小位移

5

微弧度

典型

XY向上的空回

0.2

微米

典型

Z向上的空回

0.06

微米

典型

θXθY向上的空回

2

微弧度

典型

θZ向上的空回

4

微弧度

典型

XY向上的重復精度

±0.15

微米

典型

Z向上的重復精度

±0.06

微米

典型

θXθY向上的重復精度

±2

微弧度

典型

θZ向上的重復精度

±3

微弧度

典型

XYZ向上的大速度

20 / 10

毫米/

 

θXθYθZ向上的大速度

500 / 250

毫弧度/

 

Typ. XYZ向上的典型速度

10 / 5

毫米/

 

Typ. θXθYθZ向上的速度

240 / 120

毫弧度/

 

 

 

機械特性

H-811.I2 / .I2V**

單位

公差

XY向上的剛性

0.7

/微米

 

Z向上的剛性

8

/微米

 

負載能力(底板為水平方向)

5

千克

負載能力(底板為任意方向)

2.5

千克

保持力(斷電、底板為水平方向)

15

保持力(斷電、底板為任意方向)

2.5

電機類型

BLDC電機

  

 

 

其他

H-811.I2 / .I2V**

單位

公差

工作溫度范

到 50

°C

 

材料

銹鋼,鋁

  

質量

2.2

千克

±5 %

電纜長度

0.5+3/3(空氣)+2(真空)

±10 毫米

推薦控制器

C-887.5x

  

 

術參數為 20±3°C下的數值。

單個坐標(XYZθXθYθZ)的行程相互依賴。本表中各軸對應的數值為其大行程,此時其他軸和樞軸點位于參考位置。

**對于真空連續操作,由于發熱,可能需要對運行參數進行限制。詢問定制版本。

 

圖紙/圖片

圖片2.png

 

     H-811.I2, 尺寸單位為毫米

 

 

訂購信息

H-811.I2

小型六足位移臺微型機器人,無刷直流電機,5千克負載容量,20毫米/秒速度,0.5電纜長度,含3米成套電纜

H-811.I2V

小型六足位移臺微型機器人,無刷直流電機,真空兼容至10-

百帕,公斤負載容量,10毫米/秒速度,2電纜長度,含3米成套電纜和引線

 

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