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與SF6開關(guān)相比，真空開關(guān)主要表現(xiàn)在以下幾個方面：
1.真空開關(guān)真空度無法監(jiān)測：在實際操作中，作為滅弧介質(zhì)的真空度是決定其能否投入運行以及在運行過程中能否進行開閉操作的關(guān)鍵指標(biāo)。然而，在實際操作中，操作員無法監(jiān)測真空度。SF6開關(guān)可以通過多種方式執(zhí)行氣壓檢測和電氣或機械聯(lián)鎖。
2.真空開關(guān)的觸點磨損到一定程度時必須更換。另一方面，SF6開關(guān)觸點磨損較小，不需要考慮其過度磨損導(dǎo)致的性能下降。
3.真空開關(guān)的打開距離小，操作機構(gòu)的性能要求高（以確保速度，并減少彈跳），要求對觸點超程和觸點壓力有更好的控制，并且需要滅弧室和操作機構(gòu)。匹配精度高。SF6開關(guān)觸點斷開距離一般比較大，操作機構(gòu)簡單可靠，免維護周期長。
4.由于真空開關(guān)中斷小電流，特別是在中斷小感應(yīng)電流（如空載變壓器的勵磁電流）時，電流截流經(jīng)常發(fā)生，產(chǎn)生截流過電壓，截流值越大，產(chǎn)生的過電壓越高。此外，當(dāng)真空斷路器斷開電容器組的電容電流時，很難實現(xiàn)絕對無電弧再點燃。如果有一天重新點火，也會發(fā)生重新點火過電壓。切斷過電壓和再點火過電壓對整個系統(tǒng)和開關(guān)本身極為有害。SF6開關(guān)由于其優(yōu)異的電氣性能，不會產(chǎn)生電流切斷。
隨著SF6開關(guān)技術(shù)的快速發(fā)展，以及先進的切割和焊接設(shè)備的使用，開關(guān)的密封性能得到了極大的提高。一般情況下，SF6開關(guān)可以在不維護的情況下保證10年以上，一些制造商可以保證30年。
