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SF6氣體回收裝置由真空泵、SF6壓縮機、制冷系統、儲存容器、管道、各種閥門、儀表等附件組成。電控箱、操作閥、監控儀表均集中在一側面板，并有工藝說明，使用方便明了。
SF6氣體回收裝置的基本工作原理是采用制冷液化法。回收時，利用壓縮機的吸力和壓縮性，將SF6電氣設備中一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機，壓縮到一定的較高壓力。同時，利用R22制冷劑的低蒸發溫度特性，將溫度較高的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進行液化儲存。通過這種方式，它被連續泵送到串聯運行的SF6壓縮機，直到達到最終恢復壓力。
充放電時，先用裝置的真空泵對SF6電氣設備（或鋼瓶）及連接管路進行抽真空，然后直接利用壓差或壓縮機的吸力產生一定的壓差儲存存儲容器中的設備。將里面的SF6充入SF6電氣設備，直到達到所需的工作壓力。當需要灌裝瓶子時，利用上述R22制冷劑的特性，將液化的SF6直接灌裝到鋼瓶中。上述回收、充放電功能完成后，凈化功能同步完成。
SF6氣體排放到空氣中，對空氣的危害很大。SF6氣體的回收與檢測在SF6氣體的回收與泄漏中起著重要的作用。SF6氣體絕緣電氣設備制造，利用運行、科研等部門對各種電氣設備進行疏散，用SF6氣體填充電氣設備，回收所用或試驗用電器中的SF6氣體，同時凈化、壓縮并存儲它。
