等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體LED行業(yè)的應(yīng)用是基于集成電路的各種元器件及連接線很精細(xì)，那么在制程過(guò)程中就容易出現(xiàn)灰塵，或者有機(jī)物等污染，極其容易造成晶片的損壞，使其短路，為了要排除這些制程過(guò)程中產(chǎn)生的問(wèn)題，在后來(lái)的制程過(guò)程中導(dǎo)入了等離子表面清洗機(jī)設(shè)備進(jìn)行前處理，在不破壞晶圓表面的性能的情況下來(lái)很好的利用等離子清洗機(jī)進(jìn)行去除表面有機(jī)物和雜質(zhì)等。

等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合，通過(guò)等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂.

plasma等離子清洗機(jī)通過(guò)對(duì)物體表面進(jìn)行等離子轟擊，可以達(dá)到對(duì)物體表面的蝕刻，活化，清洗等目的。可以顯著加強(qiáng)材料表面的粘性及焊接強(qiáng)度，等離子清洗機(jī)用于LCD，LED，PCB，BGA，引線框架，平板顯示器的清洗和蝕刻。等離子清洗機(jī)處理可以在短時(shí)間內(nèi)能清除材料表面污染物不管表面是金屬、陶瓷、聚合物、塑料等材料，都能增強(qiáng)粘著力，親水性的作用

點(diǎn)銀膠前采用等離子清洗機(jī)可以使工件表面粗糙度及親水性大大提高，有利于銀膠平鋪及芯片粘貼同時(shí)，可大大節(jié)省銀膠的使用量降低成本。

引線鍵合前采用等離子清洗機(jī)處理，可顯著提高其表面活性，提高鍵合強(qiáng)度及鍵合引線的拉力均勻性。有些情況下，鍵合的溫度也可以降低，提高產(chǎn)量降低成本。