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半導體等離子清洗機應用

時間:2022/3/23閱讀:318
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半導體行業等離子清洗機的應用:灌裝-提高灌注物的粘合性;bond pad清潔-通過接合焊盤(bond pad)清潔改善絲焊,聚合物綁定-改善塑料材料的粘結邦定性能

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等離子清洗機(Plasma Cleaner)又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機等離子活化機Plasma清洗機等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合,通過等離子清洗機的表面處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作,增強粘合力、鍵合力,同時去除有機污染物、油污或油脂.

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等離子清洗機應用于當代半導體、薄膜/厚膜電路等行業在元件封裝前、芯片鍵合前的二次精密清洗工藝,等離子清洗機不僅提升了產品工藝要求,采用等離子清洗機可以清洗產品不均勻的問題,并且有效改善和提升封裝行業中的沾污能力不足問題。

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等離子清洗機采用的等離子體表面處理技術是一種綠色、環保、安全、節能的干式加工方式,低溫等離子體中的高能活性粒子與材料表面相互作用,例如:表面活化、接枝聚合等,改變了材料表面的形貌特征和化學組成。





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