玻璃蓋板采用超聲波清洗通常會殘留一些肉眼看不見的有機物和微粒，這無疑會對下一步工藝的進行埋下隱患。等離子清洗機能讓玻璃蓋板清洗得更加*，對玻璃蓋板表面的主要清洗作用是活化，能使有機污染物化學反應成碳氫化合物，生成二氧化碳和水從玻璃蓋板表面除去，促進下一步蝕刻、涂覆、粘接等工藝，大大提高了產品良率。

等離子清洗機（Plasma Cleaner）又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂，

等離子預處理是采用等離子表面處理機（等離子清洗機）在AF、AS、AG、AR鍍膜（噴涂）工藝前，對基材表面進行精細化清洗、蝕刻和活化，可以得到非常薄的高張力涂層表面，有利于噴涂藥水的附著牢固和厚薄均勻。等離子處理機，等離子清洗機與灼燒處理相比不會損害樣品。同時還可以十分均勻地處理整個表面，不會產生有毒煙氣，中空和帶縫隙的樣品也可以處理。