低溫等離子體（Plasma）應用已經是一個具有影響的重要的科學與工程，對高科技經濟的發展及傳統工業的改造有著巨大的影響。不少微電子器件設備都采用等離子體清洗機；較多高分子材料都要經過低溫等離子體的表面處理和改性。低溫等離子體清洗機廣泛用于半導體工業、聚合物薄膜、材料防腐蝕、等離子體電子學、等離子體合成、等離子體冶金、等離子體煤化工、等離子體三廢處理等領域。

等離子體清洗機的輔助加工工藝被用來制造特種優良性能的新材料、研制新的化學物質和化學過程，加工、改造和精制材料及其表面，等離子清洗機具有極其廣泛的工業應用--從薄膜沉積、等離子體聚合、微電路制造到焊接、工具硬化、超微粉的合成、等離子體噴涂、等離子體冶金、等離子體化工、等離子體輔助加工

等離子體清洗機方向性不強，能夠處理各種形狀的物體，并且對于微孔和凹陷也能夠深入內部進行精細化處理。等離子清洗機對材料也沒有限制，尤其適用于不耐熱和不耐溶劑的材料，處理效率非常高只需要幾分鐘即可。