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德國BALLUFF巴魯夫壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力

時間:2023/2/8閱讀:612
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      德國BALLUFF巴魯夫壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力

BALLUFF壓力傳感器(Pressure Transducer)是能感受壓力信號,并能按照一定的規(guī)律將壓力信號轉(zhuǎn)換成可用的輸出的電信號的器件或裝置。

BALLUFF壓力傳感器通常由壓力敏感元件和信號處理單元組成。按不同的測試壓力類型,BALLUFF壓力傳感器可分為表壓傳感器、差壓傳感器和絕壓傳感器。

BALLUFF壓力傳感器是工業(yè)實踐中常用的一種傳感器,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業(yè)。

重載BALLUFF壓力傳感器是傳感器中一種,但是我們很少聽說這種BALLUFF壓力傳感器,它通常被用于交通運輸應(yīng)用中,通過監(jiān)測氣動、輕載液壓、制動壓力、機油壓力、傳動裝置、以及卡車/拖車的氣閘等關(guān)鍵系統(tǒng)的壓力、液力、流量及液位來維持重載設(shè)備的性能。

重載BALLUFF壓力傳感器是一種具有外殼、金屬壓力接口以及高電平信號輸出的壓力測量裝置。許多傳感器配有圓形金屬或塑料外殼,外觀呈筒狀,一端是壓力接口,另一端是電纜或連接器。這類重載BALLUFF壓力傳感器常用于溫度及電磁干擾環(huán)境。工業(yè)及交通運輸領(lǐng)域的客戶在控制系統(tǒng)中使用BALLUFF壓力傳感器,可實現(xiàn)對冷卻液或潤滑油等流體的壓力測量和監(jiān)控。同時,它還能夠及時檢測壓力尖峰反饋,發(fā)現(xiàn)系統(tǒng)阻塞等問題,從而即時找到解決方案。

重載BALLUFF壓力傳感器一直在發(fā)展,重載BALLUFF壓力傳感器為了能夠用于更加復(fù)雜的控制系統(tǒng),設(shè)計工程師必需提高傳感器精度同時需要降低成本便于實際應(yīng)用等要求。

多傳感器信息融合技術(shù)的基本原理就像人的大腦綜合處理信息的過程一樣,將各種傳感器進行多層次、多空間的信息互補和優(yōu)化組合處理,最終產(chǎn)生對觀測環(huán)境的一致性解釋。在這個過程中要充分地利用多源數(shù)據(jù)進行合理支配與使用,而信息融合的最終目標則是基于各傳感器獲得的分離觀測信息,通過對信息多級別、多方面組合導(dǎo)出更多有用信息。這不僅是利用了多個傳感器相互協(xié)同操作的優(yōu)勢,而且也綜合處理了其它信息源的數(shù)據(jù)來提高整個傳感器系統(tǒng)的智能化。

BALLUFF壓力傳感器是使用廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的BALLUFF壓力傳感器以機械結(jié)構(gòu)型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重,不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體BALLUFF壓力傳感器也應(yīng)運而生。其特點是體積小、質(zhì)量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展,而且其功耗小、可靠性高。

擴散硅壓力變送器

擴散硅壓力變送器是把帶隔離的硅壓阻式壓力敏感元件封裝于不銹鋼殼體內(nèi)制作而成。它能將感受到的液體或氣體壓力轉(zhuǎn)換成標準的電信號對外輸出,DATA-52系列擴散硅壓力變送器廣泛應(yīng)用于供/排水、熱力、石油、化工、冶金等工業(yè)過程現(xiàn)場測量和控制。

半導(dǎo)體壓電阻型

半導(dǎo)體壓電阻抗擴散BALLUFF壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力,通過外力(壓力)使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果,從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號。

靜電容量型

靜電容量型BALLUFF壓力傳感器,是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容,將通過外力(壓力)使可動極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號。 (E8Y的動作原理便是靜電容量方式,其他機種采用半導(dǎo)體方式)。

傳感器的接線一向是客戶采購過程咨詢得最多的問題之一,很多客戶都不知道傳感器如何連線,其實各種傳感器的接線方式基本都是一樣的,BALLUFF壓力傳感器一般有兩線制、三線制、四線制,有的還有五線制的。

BALLUFF壓力傳感器兩線制比較簡單,一般客戶都知道怎么接線,一根線連接電源正極,另一個線也就是信號線經(jīng)過儀器連接到電源負極,這種是的,BALLUFF壓力傳感器三線制是在兩線制基礎(chǔ)上加了一個線,這根線直接連接到電源的負極,較兩線制麻煩一點。四線制BALLUFF壓力傳感器肯定是兩個電源輸入端,另外兩個是信號輸出端。四線制的多半是電壓輸出而不是4~20mA輸出,4~20mA的叫壓力變送器,多數(shù)做成兩線制的。BALLUFF壓力傳感器的信號輸出有些是沒有經(jīng)過放大的,滿量程輸出只有幾十毫伏,而有些BALLUFF壓力傳感器在內(nèi)部有放大電路,滿量程輸出為0~2V。至于怎么接到顯示儀表,要看儀表的量程是多大,如果有和輸出信號相適應(yīng)的檔位,就可以直接測量,否則要加信號調(diào)整電路。五線制BALLUFF壓力傳感器與四線制相差不大,市面上五線制的傳感器也比較少。

1、壓阻式BALLUFF壓力傳感器

電阻應(yīng)變片是壓阻式應(yīng)變傳感器的主要組成部分之一。金屬電阻應(yīng)變片的工作原理是吸附在基體材料上應(yīng)變電阻隨機械形變而產(chǎn)生阻值變化的現(xiàn)象,俗稱為電阻應(yīng)變效應(yīng)。

2、陶瓷BALLUFF壓力傳感器

陶瓷BALLUFF壓力傳感器基于壓阻效應(yīng),壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片產(chǎn)生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個惠斯通電橋,由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng),使電橋產(chǎn)生一個與壓力成正比的高度線性、與激勵電壓也成正比的電壓信號,標準的信號根據(jù)壓力量程的不同標定為2.0/3.0/3.3mV/V等,可以和應(yīng)變式傳感器相兼容。

3、擴散硅BALLUFF壓力傳感器:

擴散硅BALLUFF壓力傳感器工作原理也是基于壓阻效應(yīng),利用壓阻效應(yīng)原理,被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,利用電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這一壓力的標準測量信號。

4、藍寶石BALLUFF壓力傳感器:

利用應(yīng)變電阻式工作原理,采用硅-藍寶石作為半導(dǎo)體敏感元件,具有的計量特性。因此,利用硅-藍寶石制造的半導(dǎo)體敏感元件,對溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著很好的工作特性;藍寶石的抗輻射特性強;另外,硅-藍寶石半導(dǎo)體敏感元件,無p-n漂移。

5、壓電式BALLUFF壓力傳感器:

壓電效應(yīng)是壓電傳感器的主要工作原理,壓電傳感器不能用于靜態(tài)測量,因為經(jīng)過外力作用后的電荷,只有在回路具有無限大的輸入阻抗時才得到保存。實際的情況不是這樣的,所以這決定了壓電傳感器只能夠測量動態(tài)的應(yīng)力。

 

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