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四級承修設備清單-數(shù)字0.05級真空計可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。

四級承修設備清單-數(shù)字0.05級真空計工作原理：

按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。

利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。

四級承修設備清單-數(shù)字0.05級真空計推薦范圍：

在較高壓力時(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計，麥克勞真空計，薄膜計，彈簧管壓力計等[1] 。

在10~10Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。

在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。