產品性能

Phenom ProX 電鏡能譜一體機同時具備樣品表面微觀形貌觀測和表面元素成分點、線、面分析。原飛利浦*科學家 Karel.Mast 教授攜手 Phenom World 公司，*將電鏡和能譜在生產環節集成在一臺設備中，后期通過一個軟件平臺控制操作，用戶只需要熟悉一個軟件就能同時操控兩項功能，也變得相對簡 單快速。

Phenom ProX 電鏡能譜一體榮獲 2012 年新產品獎，是掃描電鏡能譜行業的一個里程碑。亮度 10 倍于鎢燈絲 CeB6 燈絲不僅使 Phenom ProX 電鏡能譜一體機提供*zui高的臺式掃描電鏡分辨率，同時也使得表面元素分析更加準確快速。背散射電子圖像用不同的灰度呈現出不同的元素，Phenom ProX 配備的 SDD X 射線探頭，定性半定量探測 5-95 號元素的點、線、面分布。

Phenom ProX 電鏡能譜一體機具有飛納系列全自動操作、15 秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3 年更換燈絲等特點，無需防震環境，可放置在任意樓層，能譜無外接部件，無需液氮冷卻。

Phenom ProX 電鏡能譜一體機

產品參數

光學顯微鏡：放大 20-135 倍

電子顯微鏡：130,000 倍

探測器：高靈敏度四分割背散射電子探測器

燈絲材料：1,500 小時 CeB6 燈絲

分辨率：優于 14 nm

放置環境：采用專業防震設計，可擺放于普通實驗室或辦公室、廠房

加速電壓：5kV-15kV 連續可調

抽真空時間：小于 15 秒

探測元素范圍：B（5）- Am（95）號元素

能譜探測器：硅漂移探測器（SDD）

冷卻方式：無液氮 Peltier 效應電制冷

能量分辨率：<137eV（MnKaα）

探測器晶體活性面積：25mm2

Phenom ProX 電鏡能譜一體機可選配所有的樣品杯選件和所有的拓展功能軟件選件。

復納科學儀器 (上海) 有限公司 (Phenom-China)，負責 Phenom-World 飛 納臺式掃描電鏡在中國市場的推廣和銷售，提供專業的和測試服務，飛納中國擁有*的服務團隊，提供*化的解決方案；飛納中國提出飛納學校 （Phenom University）的概念，為用戶提供從掃描電鏡基礎理論到 Level 5 應用工程師的進階培訓，在上海、北京、廣州設立了測試中心和售后服務中心，目前飛納在中國已經擁有接近 500 名用戶。