全自動(dòng)掃描電子顯微鏡數(shù)字控制，專業(yè)級電子顯微成像及分析能力，主機(jī)電器一體化設(shè)計(jì)，占地小，便于移動(dòng)，中型樣品倉，接配專業(yè)EDS、WDS、EBSD、CL等，探測器更協(xié)調(diào)工作，五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，計(jì)算機(jī)導(dǎo)航，渦輪分子泵真空系統(tǒng)，高真空成像時(shí)間小于3min，標(biāo)配高真空模式SE成像。

    全自動(dòng)掃描電子顯微鏡是一種大型的分析儀器，主要功能是用于固態(tài)物質(zhì)的形貌顯微分析和對常規(guī)成分的微區(qū)分析，廣泛應(yīng)用于化工、材料、醫(yī)藥、生物、礦產(chǎn)、司法等領(lǐng)域。由于全自動(dòng)掃描電子顯微鏡價(jià)格昂貴及特殊的工作原理，它對樣品制備有著較高的要求，樣品的制備好壞，直接影響著樣品分析是否成功，為此，本文著重介紹一下全自動(dòng)掃描電子顯微鏡應(yīng)用中有關(guān)樣品制備的相關(guān)知識和技術(shù)。

   全自動(dòng)掃描電子顯微鏡對樣品的要求

   (1)樣品必須是無毒、無放射性的物質(zhì)，以保證工作人員的人身安全；

   (2)樣品可以是塊狀、片狀、纖維狀，也可以是顆粒或粉末狀，無論是什么樣的樣品都不能是有機(jī)揮發(fā)物和含有水分，如果將含有水分的樣品放在鏡筒內(nèi)能產(chǎn)生三種嚴(yán)重不良后果：一是當(dāng)真空達(dá)不到要求強(qiáng)行通高壓時(shí)，其產(chǎn)生的水蒸汽遭遇高能電子流產(chǎn)生電離而放電引起束流大幅度波動(dòng)，使所成的像模糊，或根本不能成像；二是造成鏡筒污染；三是損壞燈絲，當(dāng)高能電壓通過燈絲時(shí)，溫度高達(dá)2000Ο，碰到水蒸汽而氧化變質(zhì)或熔斷，因此，應(yīng)先烘干樣品中的水分；

   (3)無論是塊狀樣品，還是粉末顆粒狀樣品，其化學(xué)、物理性質(zhì)要穩(wěn)定，在高真空中的電子束照射下，都要能保持成分穩(wěn)定和形態(tài)不變；

   (4)表面受到污染的樣品，要在不破壞樣品表面結(jié)構(gòu)的前提下，進(jìn)行適當(dāng)清洗、烘干；

   (5)無論是樣品的表面，還是樣品新斷開的斷口或斷面，一般不需要進(jìn)行處理，以保持全自動(dòng)掃描電子顯微鏡原始的結(jié)構(gòu)狀態(tài)；

   (6)對磁性樣品要預(yù)先去磁，以免觀察時(shí)電子束受到磁場的影響.

   (7)粉末樣品要適量，不易過多；塊狀樣品大小要適合儀器樣品底座的尺寸，不能過大。