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電子潔凈室的靜壓差檢測

時間:2015/4/13閱讀:2057
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1、檢測要求      
(1)靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有的門全部關(guān)閉情況下進行。      
(2)在潔凈室平面上應從潔凈度由高到低的順序依次進行,一直檢測到直通室外的房間。     
(3)測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可,測管口面與氣流流線平行。     
(4)所測量記錄的數(shù)據(jù)應到O.lPa。   
2、普通傳遞窗檢測方法     
(1)先關(guān)閉所有的門。
(2)用微差壓計測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。     
(3)記錄所有數(shù)據(jù)。
3、測量儀器采用YJB-150補償微壓計,量程0—1 500Pa或其他微壓力計,儀表靈敏度小于0.1Pa。     
4、合格標準按照傳遞窗原理潔凈室設(shè)計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值。    
(1)不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,應不小于4.9Pa。     
(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,不應小于9.8Pa。      
(3)對于空氣潔凈度等級嚴于5級(100級)的單向流潔凈室在開門時,門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度限值。    
(4)若達不到以上標準的要求,應重新調(diào)整新風量、排風量,至合格為止。

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